氣相沉積

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晶圓的制作流程及劃片分層過程

分層劃片工藝，根據(jù)劃片材料的厚度，在劃片深度方向采用分層進給的方式進行劃片。首先進行開槽劃片，采用比較小的進給深度，以保證刀具受力小，降低刀具磨損，減小劃片刀崩邊，然后再劃片到 UV 膜厚度 1/2 的位置。

基礎知識科普站
2021-12-01

晶圓氣相沉積蝕刻

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