改良西門子法多晶硅生產(chǎn)的西門子工藝,其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純?nèi)葰涔?,生成多晶硅沉積在硅芯上。改良西門子工藝是在傳統(tǒng)的西門子工藝的基礎(chǔ)上,同時具備節(jié)能、降耗、回收利用生產(chǎn)過程中伴隨產(chǎn)生的大量H2、HCI、SiCI4等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的配套工藝。世界上絕大部分廠家均采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅。
工業(yè)生產(chǎn)車間是產(chǎn)生氯化氫常見的地方之一。為防止氯化氫氣體帶來的危害,一是產(chǎn)生的氯化氫氣體濃度會對人體健康產(chǎn)生影響,工業(yè)機(jī)器人是一種智能化、模塊化產(chǎn)品,具有相關(guān)的獨(dú)立系統(tǒng),可自主進(jìn)行定位、避障和工作。根據(jù)機(jī)器人自身系統(tǒng)還可配套工采網(wǎng)氯化氫傳感器,實(shí)現(xiàn)對氯化氫氣體的檢測。