基本測試配置 圖3給出了一種基本的C-V測量配置框圖。由于C-V測量實際上是在交流頻率下進行的,因此待測器件(DUT)的電容可以根據(jù)下列公式計算得到: CDUT = IDUT / 2πfVac,其中 IDUT是通過D
普通測試 電容-電壓(C-V)測試廣泛用于測量半導(dǎo)體器件,尤其是MOSCAP和MOSFET結(jié)構(gòu)的參數(shù)。但是,通過C-V測量還能夠?qū)芏嗥渌愋偷陌雽?dǎo)體器件和工藝進行特征分析,包括雙極結(jié)型晶體管(BJT)、JFET、