MEMS即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域,其研究范圍涉及電子、機械、材料、物理學等多學科與技術。因此,MEMS傳感器是采用微電子和微機械加
為促進電子信息產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展,支持和配合信息產(chǎn)業(yè)部《電子信息產(chǎn)品污 染防治管理辦法》的出臺,信息產(chǎn)業(yè)部科技司決定啟動電子信息產(chǎn)品污染防治的標準化工 作,并將于近日成立“電子信息產(chǎn)品污染防治標準