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東方晶源電子束檢測項(xiàng)目榮登2022“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜單
日前,2023“科創(chuàng)中國”年度會議上,中國科協(xié)正式發(fā)布了2022年“科創(chuàng)中國”系列榜單。經(jīng)初評、終評,遴選公示多個(gè)環(huán)節(jié),東方晶源申報(bào)的“電子束硅片圖形缺陷檢測與關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目榮登“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜。
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2022年“科創(chuàng)中國”系列榜單公布 東方晶源上榜
日前,2023“科創(chuàng)中國”年度會議上,中國科協(xié)正式發(fā)布了2022年“科創(chuàng)中國”系列榜單。經(jīng)初評、終評,遴選公示多個(gè)環(huán)節(jié),東方晶源申報(bào)的“電子束硅片圖形缺陷檢測與關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目榮登“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜。
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KLA推出全新突破性的電子束缺陷檢測系統(tǒng)
加利福尼亞州，米爾皮塔斯市，2020年7月20日/-今天KLA公司宣布推出革命性的eSL10?電子束圖案化晶圓缺陷檢查系統(tǒng)。
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5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導(dǎo)體技術(shù)：產(chǎn)能大漲600%
提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設(shè)備。不過ASML不只是光刻機(jī)厲害，今天他們宣布了另外一個(gè)新產(chǎn)品—;—;第一代HMI多光束檢測機(jī)H
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ARM電子束焊機(jī)燈絲電源設(shè)計(jì)方案
傳統(tǒng)的電子束焊機(jī)電源系統(tǒng)采用工頻或中頻技術(shù)，具有體積大、效率低、束流穩(wěn)定性差等缺點(diǎn)。分析電子束焊機(jī)電源目前存在的缺點(diǎn)并結(jié)合現(xiàn)代電力電子技術(shù)，本文提出一種基于ARM的
