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我國極大規(guī)模集成電路所需高純度含氟電子氣體實現(xiàn)國產(chǎn)化
集成電路是信息社會的根基，其制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細制造的最高水平。
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電子氣體對半導(dǎo)體行業(yè)的重要作用
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體材料已成為二十一世紀信息社會和大數(shù)據(jù)時代高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)材料，它的發(fā)展對高速計算、大容量信息通信、存儲、處理、電子對抗、武器裝備的小型化和智能化，甚至對國民經(jīng)濟的發(fā)展和國家安全等都具有非常重要的意義。
