6月30日消息 新華社報道,中國電子科技集團宣布,由該集團旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速,性能達到國際先進水平。獲悉,離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造
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