-
離子注入機(jī)及其構(gòu)成
離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種，應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。
-
MEVVA源
M EVVA源是金屬蒸汽真空弧離子源的縮稱。這是上世紀(jì)80年代中期由美國加州大學(xué)伯克利分校的布朗博士由于核物理研究的需要發(fā)明研制成功的。這種新型的強(qiáng)流金屬離子源問世后很快就被應(yīng)用于非半導(dǎo)體材料離子注入表面改性，并引起了強(qiáng)流金屬離子注入的一場革命，這種獨(dú)特的離子注入機(jī)被稱為新一代金屬離子注入機(jī)。
-
迎來重大突破！國產(chǎn)高能離子注入機(jī)打破了國外壟斷
由于眾所周知的原因，近期國外尤其是美國對中國的科技“卡脖子”打擊，這也掀起了我國自主研發(fā)突破國外封鎖的一波熱潮，近期也是捷報(bào)頻頻。在芯片方面，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備，中國電子科技集團(tuán)有限公司近日公布，該集團(tuán)旗下電科裝備已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。
-
芯片制造關(guān)鍵，國產(chǎn)高能離子注入機(jī)成功實(shí)現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速
6月30日消息 新華社報(bào)道，中國電子科技集團(tuán)宣布，由該集團(tuán)旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機(jī)成功實(shí)現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平。獲悉，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造
-
上海凱世通為全球先進(jìn)芯片客戶提供服務(wù)
近期由國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)資訊，萬業(yè)企業(yè)全資子公司上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡稱“凱世通”)的低能大束流集成電路離子注入機(jī)已搬進(jìn)杭州灣潔凈室，目前正在
