西門子法

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  • 西門子法的工藝流程

    改良西門子法生產多晶硅工藝設計中大致細分為以下幾個工序：H2制備與凈化、HCl合成、SiHCl3合成、合成氣干法分離、氯硅烷分離提純、SiHCl3氫還原、還原尾氣干法分離、SiCl4氫化、氫化氣干法分離、硅芯制備及產品整理、廢氣及殘液處理等。