在2000年的第一個(gè)月,Santa Clara University的Sergey Savastiou教授在Solid State Technology期刊上發(fā)表了一篇名叫《Moore’s Law – the Z dimension》的文章。這篇文章最后一章的標(biāo)題是Through-Silicon Vias,這是 Through-Silicon Via 這個(gè)名詞首次在世界上亮相。這篇文章發(fā)表的時(shí)間點(diǎn)似乎也預(yù)示著在新的千禧年里,TSV注定將迎來它不凡的表演。
近日,致力于晶圓級(jí)微機(jī)電鑄造(MEMS-Casting?)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的創(chuàng)業(yè)公司——邁鑄半導(dǎo)體,成功開發(fā)出微型U型結(jié)構(gòu)電磁鐵,這個(gè)比指尖還小的電磁鐵目標(biāo)成為現(xiàn)階段世界上最小的U型結(jié)構(gòu)電磁鐵。