基于MEMS的陀螺儀,是利用科里利奧力,對(duì)MEMS內(nèi)部施加一個(gè)X方向的激勵(lì)信號(hào),當(dāng)質(zhì)量塊相對(duì)于震蕩的系統(tǒng)產(chǎn)生Z軸方向的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí),由于Y方向的科里利奧力,質(zhì)量塊就產(chǎn)生Y方向的運(yùn)動(dòng),通過(guò)計(jì)算電容的變化,就可以計(jì)算出對(duì)應(yīng)的角加速度值。
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