開展靜電探針自動測量技術的研究開發(fā)工作,對提高等離子體應用研究工作的效率具有一定的促進作用。本文介紹的自動測量系統(tǒng)是以單片機為核心,采用A/D和D/A技術,能夠快速、準確地給出靜電探針I(yè)-V特性曲線。
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