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目前最高制造精度，美Zyvex產(chǎn)出0.7nm線寬芯片

據(jù)業(yè)內(nèi)消息，近日美國(guó)一家商業(yè)精密制造公司Zyvex表示制出了亞納米分辨率光刻系統(tǒng)ZyvexLitho1，這個(gè)系統(tǒng)沒(méi)有采用EUV光刻技術(shù)，但是卻能產(chǎn)出只有0.7nm線寬的芯片，是目前最高制造精度。

通信先鋒
2022-09-26

Zyvex 0.7nm 芯片 EBL EUV ASML
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安森美(onsemi)
2019-08-08

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