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復享光學承擔的上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動計劃” - 0909
本次復享光學承擔的項目，屬于“科學儀器研制開發(fā)”專題項目。該項目基于共焦拉曼光譜，發(fā)展面向GAA-FET制程檢測的拉曼光譜技術，探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關鍵參數(shù)的量測技術，形成一套具有重大產(chǎn)業(yè)應用前景的專業(yè)高端拉曼光譜設備。
本次復享光學承擔的項目，屬于“科學儀器研制開發(fā)”專題項目。該項目基于共焦拉曼光譜，發(fā)展面向GAA-FET制程檢測的拉曼光譜技術，探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關鍵參數(shù)的量測技術，形成一套具有重大產(chǎn)業(yè)應用前景的專業(yè)高端拉曼光譜設備。
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