HEPS

國產(chǎn)“光刻廠”落地？官方正式回應(yīng)！

近日，網(wǎng)傳清華大學(xué)的國產(chǎn) EUV 方案通過用“空間”換“時(shí)間”的方式，通過將光刻機(jī)放大為光刻廠的方案來規(guī)避技術(shù)難點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)“換道超車”。對(duì)此，昨天下午中國電子工程設(shè)計(jì)院官方表示，該項(xiàng)目并非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機(jī)工廠，而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目(HEPS)。