集成電路生產(chǎn)制造需要經(jīng)過上百道主要工序。其技術(shù)范圍覆蓋了從微觀到宏觀的全尺度,地球上諸多先進(jìn)的技術(shù)在集成電路行業(yè)中得到了淋漓盡致的體現(xiàn)。由于集成電路制造的精密性以及對(duì)成本和利潤(rùn)的追求,為了保證芯片的質(zhì)量,需要在整個(gè)生產(chǎn)過程中對(duì)生產(chǎn)過程及時(shí)地進(jìn)行監(jiān)測(cè),為此,幾乎每一步主要工藝完成后,都要對(duì)芯片進(jìn)行相關(guān)的工藝參數(shù)監(jiān)測(cè),以保證產(chǎn)品質(zhì)量的可控性。