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美國倫斯勒理工學院開發(fā)新式液體鏡頭有可能幫助改進浸沒式光刻設備

美國倫斯勒理工學院最近開發(fā)出一種新式液體鏡頭，能通過超小型的微流體活塞、以電氣方式調整焦距，不須外加零件。此前，液體鏡頭已經(jīng)被應用在浸沒式光刻設備，用以提升光刻分辨率，使得目前的CMOS工藝得以繼續(xù)向90納

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2011-01-19

光刻 RESEARCH RSA SEARCHER

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