繼MEMS陀螺儀(相關(guān)報(bào)道)之后,另一種正在迅速發(fā)展的MEMS器件是顯示器用光學(xué)掃描器件,實(shí)際上,目前很多企業(yè)也都在大力開發(fā)相關(guān)技術(shù)。土耳其Ko?大學(xué)的Urey教授在TRANSDUCERS 2013上發(fā)表演講,介紹了采用MEMS光學(xué)掃描
MEMS傳感器的趨勢之一是小型化與低成本化,而另一趨勢則是高性能化。1990年前后MEMS陀螺儀的隨機(jī)游走(Random Walk)性能為100°/√h左右,現(xiàn)在則提高到了0.1°/√h左右(圖1)。20年內(nèi)提高了約1000倍。陀螺儀的尺寸
近日,集成微納系統(tǒng)中心的10篇科研論文被Transducers2013&EurosensorsXXVII(第17屆固態(tài)傳感器、執(zhí)行器與微系統(tǒng)國際會(huì)議及第27屆歐洲傳感器會(huì)議)錄用,其中5篇論文的第一作者為本校的本科生,突顯了微電子學(xué)科本科生