1. 內(nèi)容簡介近年來由于日趨嚴(yán)重的環(huán)境污染及工業(yè)上之需求,使得傳感器的發(fā)展倍受重視。在空氣污染防治日益復(fù)雜及工業(yè)上迫切需要的今日,高效能的氣體傳感器愈來愈受重視。以金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)為材料之氣體傳感器
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