應(yīng)用材料公司帶來(lái)堪比 “時(shí)光機(jī)器” 的電子束檢視技術(shù)

今天當(dāng)你坐在沙發(fā)前，享受著大屏高清的時(shí)尚大片時(shí)，或許還渾然不覺(jué)正是顯示技術(shù)的進(jìn)步給你帶來(lái)的視覺(jué)盛宴?？梢哉f(shuō)，正是人們對(duì)是視覺(jué)官感的要求越來(lái)越“刁難”推動(dòng)著顯示技術(shù)的發(fā)展。顯示技術(shù)在當(dāng)前的應(yīng)用越來(lái)越多，從電視上的超薄4K OLED電視和模塊化大尺寸屏幕到汽車上的OLED車聯(lián)網(wǎng)屏幕再到移動(dòng)設(shè)備上的柔性O(shè)LED和硬性O(shè)LED、OLED筆記本，再到現(xiàn)在火得不行的虛擬現(xiàn)實(shí)，顯示技術(shù)一步步地邁向更高的臺(tái)階。

我們可以直觀感受到尺寸上的變化：電視從40吋到55吋再到70吋的躍進(jìn)，手機(jī)也從3.5吋到5吋再到5.5吋的發(fā)展。在分辨率上也逐漸開(kāi)始體驗(yàn)著電視從HD到4K再到8K，手機(jī)326ppi到600ppi再到未來(lái)的700ppi。未來(lái)，顯示屏幕的形狀也越來(lái)越多元化，從平板到彎曲到可卷式或許再到折疊式。但身為消費(fèi)者的我們感受不到的是內(nèi)部技術(shù)是如何變革的，比如薄膜晶體管從當(dāng)初的非晶硅向低溫多晶硅和金屬氧化物發(fā)展，顯示屏幕從LCD屏向OLED或柔性O(shè)LED發(fā)展。我們也看不到顯示材料的進(jìn)步帶來(lái)的良率的挑戰(zhàn)、更復(fù)雜的工藝步驟和柔性底板挑戰(zhàn)等，更體會(huì)不到為保證顯示材料良率而不斷改良技術(shù)的公司的默默努力，應(yīng)用材料公司就是其中的一個(gè)。

應(yīng)用材料公司成立于1967年，在全球18個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)有81個(gè)分支機(jī)構(gòu)，業(yè)務(wù)部門主要有三個(gè)：半導(dǎo)體產(chǎn)品事業(yè)部、全球服務(wù)產(chǎn)品事業(yè)部、顯示產(chǎn)品及鄰近市場(chǎng)事業(yè)部。顯示產(chǎn)品事業(yè)部成立于1991年，憑借著在半導(dǎo)體檢視領(lǐng)域擁有的20年領(lǐng)導(dǎo)技術(shù)，應(yīng)用材料公司把半導(dǎo)體檢視技術(shù)帶到顯示行業(yè)，成為了全球領(lǐng)先的顯示設(shè)備制造商，致力于創(chuàng)造更薄、更輕、更大、便攜和更清晰的顯示產(chǎn)品。

2016年11月2日，在北京的媒體見(jiàn)面會(huì)上，應(yīng)用材料公司介紹了用于OLED和高分辨率LCD的高分辨率在線電子束檢視系統(tǒng)。電子束檢視技術(shù)(EBR)是一種非鍍膜無(wú)損傷的在線掃描電子顯微鏡解決方案。傳統(tǒng)的電子顯微鏡解決方案(SEM)在檢測(cè)過(guò)程不免會(huì)有一些缺陷，如金屬/C60鍍膜、檢視過(guò)程需損壞器件、響應(yīng)時(shí)間慢、樣本率低和信息流失等。EBR技術(shù)能夠有效地解決這幾個(gè)問(wèn)題，據(jù)應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部良率技術(shù)產(chǎn)品部總經(jīng)理Peter D. Nunan介紹，EBR主要優(yōu)勢(shì)為無(wú)需鍍膜、無(wú)損傷檢視流程、響應(yīng)時(shí)間迅速、樣本率高、信息也得以鏈接。目前，EBR技術(shù)主要應(yīng)用在工藝和缺陷的檢測(cè)、構(gòu)成分析、LTPS顆粒結(jié)構(gòu)和CD測(cè)量。

與其他檢測(cè)技術(shù)的對(duì)比中可以看出，利用EBR技術(shù)后不僅有助于加快學(xué)習(xí)周期，更能使良率保持穩(wěn)定。使用EBR技術(shù)還能進(jìn)行整片在線檢視，甚至可以保證有機(jī)材料無(wú)損傷無(wú)收縮;還能進(jìn)行精確的過(guò)程檢測(cè)，如對(duì)低溫多晶硅(LTPS)的檢測(cè)中能夠檢測(cè)出包括LTPS顆?？臻g數(shù)據(jù)的高分辨率圖像，對(duì)圖像進(jìn)行加工以評(píng)估LTPS顆粒和突起。還能進(jìn)行EDX元素成分分析，用于構(gòu)成和根源分析。

Peter D. Nunan提到，關(guān)于EBR具有的低電壓帶來(lái)的“零損傷”的優(yōu)勢(shì)，這中間還有個(gè)小故事。當(dāng)初他們把電子束檢視技術(shù)(EBR)解決方案介紹給客戶的時(shí)候，應(yīng)用材料公司承諾說(shuō)三個(gè)月內(nèi)就能幫助他們明顯提高良率，客戶不敢相信這是真的。結(jié)果三個(gè)月后，客戶說(shuō)，應(yīng)用材料公司“騙”了他們，因?yàn)樗麄冇玫臅r(shí)間遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于三個(gè)月!

讓應(yīng)用材料公司頗為自豪的是，電子束檢視技術(shù)(EBR)真的是“時(shí)光機(jī)器”，它能夠?yàn)榭蛻艄?jié)約時(shí)間，加快移動(dòng)設(shè)備工廠的產(chǎn)能爬坡速度。對(duì)應(yīng)用材料公司來(lái)說(shuō)，這個(gè)速度還不是極限，當(dāng)被問(wèn)及下一步更優(yōu)化的方案時(shí)，Peter D. Nunan不假思索地回答到，速度是我們的追求，假如目前一個(gè)小時(shí)“時(shí)光機(jī)器”能看到100個(gè)缺陷，我們希望幾年之后能看到更多，并且我們的“時(shí)光機(jī)器”還能夠更快。