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[導(dǎo)讀]自2000年起,MEMS智能傳感器開始進(jìn)入人們的視野,大家對于傳感器形態(tài)上的變化有了顛覆性的認(rèn)知。傳感器的尺寸及性能伴隨微機電技術(shù)的發(fā)展有了質(zhì)的飛躍。

自2000年起,MEMS智能傳感器開始進(jìn)入人們的視野,大家對于傳感器形態(tài)上的變化有了顛覆性的認(rèn)知。傳感器的尺寸及性能伴隨微機電技術(shù)的發(fā)展有了質(zhì)的飛躍。

隨后在汽車及消費電子市場上大放異彩,形成了眾所周知的傳感器第一及第二次發(fā)展浪潮。如今,第三次浪潮萬物聯(lián)網(wǎng)已經(jīng)到來,它與傳感器之間的關(guān)系無需再多贅述,而汽車行業(yè)及消費電子領(lǐng)域?qū)τ趥鞲衅靼l(fā)展的推動作用猶在。

因此,細(xì)心觀察這些行業(yè)中產(chǎn)品的發(fā)展軌跡,我們能夠看到:傳感器的發(fā)展遵循四個方向。

微型化

微型化是未來傳感器發(fā)展的必然趨勢之一。傳感器本質(zhì)屬于半導(dǎo)體,遵循摩爾定律,在這之上,伴隨超越摩爾的多樣化發(fā)展路線。從生產(chǎn)及加工的角度上看,傳感器尺寸決定了原材料的使用率,傳感器微型化代表了生產(chǎn)成本的下降;從性能上看,微型傳感器的能耗得到大幅降低;從產(chǎn)品角度看,傳感器的縮小可以釋放更多空間,間接提升產(chǎn)品最終的用戶體驗。

根據(jù)Yole Développement 的研究,MEMS 典型器件中,加速度計的封裝管腳從 2009 年的 3×5 mm2 縮小至 2018 年的 1.6×1.6 mm2,面積僅相當(dāng)于之前的17%,而成本則是過去的十分之一。

柔性化

傳感器柔性化的目的主要有三種:便攜、仿生、融合。便攜性主要基于柔性電子方向的發(fā)展。目的是改變電子器件剛性結(jié)構(gòu),使得產(chǎn)品設(shè)計上能夠有所突破,在外形上可以折疊卷曲,更加便于攜帶、使用。

仿生方向是通過柔性傳感器來模擬人體皮膚,為機器人的感知進(jìn)行賦能。生物融合則是針對人體來開展的傳感器研究。柔性材料可以更加貼合人體器官,在不被人體察覺的狀態(tài)下,對身體生物變量進(jìn)行監(jiān)測。

目前大家能夠接觸到的傳感器柔性化例子除了各種“智能鞋墊、枕頭、床墊”之外,就數(shù)折疊屏手機最具代表性了。未來手機可能會越來越“軟”,像紙一樣折起來放在口袋,或者像隱形眼鏡一樣,戴在眼中。

可穿戴莖流植物傳感器能對每一株植物進(jìn)行精細(xì)觀測,將植物的一舉一動盡收“眼底”。其貼附在植物莖葉表面,監(jiān)測莖流狀況,從而可以實時掌握植物各個階段的生長發(fā)育情況。

植物的莖流類似于人類的“血液”,是植物在蒸騰作用、滲透勢等內(nèi)外部壓力下莖稈中產(chǎn)生的上升液流,承載了輸送植物水分、養(yǎng)分、信號分子的任務(wù)。

目前,市面上探測植物徑流的方式大多采用大型侵入式探測器,不僅操作不方便,在測量過程中還會對植物造成物理傷害。

2021年3月9日,來自浙江大學(xué)的研究團隊利用芯片級的微納加工工藝,制造了一款可穿戴式莖流傳感器。這款傳感器輕薄如紙,厚度僅0.01毫米,重0.24克,貼在植物葉片上,如同“紋身”一樣。

研究團隊利用先進(jìn)微機械、材料和納米加工技術(shù),讓此款傳感器具有超薄、柔軟、可拉伸且重量輕的特點,陽光、氧氣、水和二氧化碳等物質(zhì)能自由通過傳感器,透水、透光、透氣性強,使得傳感器能在不干擾植物自然生長的情況下與其長期共存。

隨后,研究團隊利用莖流傳感器開展了一系列的實驗,他們在西瓜莖稈關(guān)鍵幾個點部署了傳感器,觀察水分在西瓜葉片、果實、莖稈上等不同器官的動態(tài)分配情況。

通過對西瓜莖稈莖流數(shù)據(jù)的監(jiān)測分析,研究團隊首次發(fā)現(xiàn)了西瓜果實生長與光合作用不同步的現(xiàn)象。

在現(xiàn)下生物教科書中,一般認(rèn)為植物生長主要依靠光合作用的能量積累,而夜間以消耗生物量的呼吸作用為主,所以果實的生長也應(yīng)與植株一樣主要在白天,即與光合作用同步。

為推動我國傳感器行業(yè)發(fā)展,2013年國家四部委發(fā)布《加快推進(jìn)傳感器及智能儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃》,重點內(nèi)容為使傳感器及智能儀器儀表實現(xiàn)微型化、數(shù)字化、模塊化、網(wǎng)絡(luò)化;2017年,工信部制定《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動計劃(2017-2019年)》,提出部署補齊設(shè)計、制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)短板,推進(jìn)智能傳感器向中高端升級等。

目前,多個省市“十四五”規(guī)劃綱要也提及傳感器,要求推進(jìn)物聯(lián)網(wǎng)傳感器等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn),全面提升傳感器產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈競爭力,加快智能傳感器的規(guī)?;瘧?yīng)用。河南、吉林、浙江、上海等“十四五”規(guī)劃意見稿也提及傳感器。

總體來看,智能傳感器正獲得強勁發(fā)展驅(qū)動力,并被認(rèn)為在多領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

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