ASML新一代光刻機(jī)橫空出世：ASML 沖刺 0.55 NA EUV 光刻機(jī)

近年來國內(nèi)科技迎來飛速發(fā)展，但看似繁榮昌盛的背后，也隱藏了諸多的隱患，困擾我們許久的“缺芯少魂”問題，至今都未能很好的解決，和老美之間的科技競爭，已經(jīng)被擺上了臺面。

中國工業(yè)起步較晚，也導(dǎo)致了在半導(dǎo)體領(lǐng)域基礎(chǔ)不穩(wěn)固，導(dǎo)致最先進(jìn)的制程工藝卡在了14nm上，而且還要高度依賴于海外的技術(shù)，而華為之前就是太過于相信“科技無國界”，導(dǎo)致吃了大虧。

華為有能力設(shè)計出尖端的5nm芯片，但憑借著國內(nèi)工藝根本制造不出來，未能展開全產(chǎn)業(yè)鏈的布局，也導(dǎo)致先進(jìn)的技術(shù)無用武之地，好在華為已經(jīng)習(xí)慣了“技術(shù)創(chuàng)新”，并沒有因此而陷入困境當(dāng)中。

說白了現(xiàn)階段的科技競爭，就是搭載在芯片工藝基礎(chǔ)上的，誰能夠獲取更為先進(jìn)的芯片，就能夠在未來掌控全局，目前國內(nèi)的企業(yè)也在芯片領(lǐng)域，展開了全面的沖刺，好消息也不斷的傳了出來。

提到先進(jìn)的芯片制造，不得不提的就是EUV光刻機(jī)了，ASML作為全球唯一的廠商，在設(shè)備進(jìn)出口上，已經(jīng)遭到了老美的嚴(yán)格管控，無法獲取先進(jìn)的光刻機(jī)，也讓國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)停滯不前。

而如今老美意在重塑本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，因此短期之內(nèi)放開EUV光刻機(jī)供應(yīng)，基本上是不存在任何的可能性的，原因就在于ASML也只是組裝廠，光刻機(jī)是集結(jié)了來自全球20多個國家的尖端產(chǎn)物。

在老美的相關(guān)限制下，反而加速了華為的成長，5G技術(shù)更加的精進(jìn)，坐穩(wěn)了領(lǐng)頭羊的位置，在技術(shù)上至少領(lǐng)先了歐美2-3年，除了在5G領(lǐng)域的成就之外，我國在航空航天等等領(lǐng)域上，也都實現(xiàn)了趕超。

為了追趕臺積電，很顯然三星也在努力的采購ASML的最新一代光刻機(jī)，而花費(fèi)也是巨大的。

據(jù)韓國媒體報道稱，三星電子和ASML就引進(jìn)今年生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)和明年推出高數(shù)值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機(jī)達(dá)成采購協(xié)議。

High-NA EUV光刻機(jī)精密度更高、設(shè)計零件更多，是延續(xù)摩爾定律的關(guān)鍵，推動2nm以下制程，估計每臺要價4億美元。

ASML今年只能生產(chǎn)50臺EUV設(shè)備，交貨周期為1年6個月，ASML有限的生產(chǎn)能力和較長的交貨時間正加劇各大晶圓代工廠訂購 High-NA EUV光刻機(jī)的競爭。

在這之前， Intel已率先與ASML采購5臺這款新設(shè)備，還宣稱2024年初就能生產(chǎn)2nm、2024 年下半更能生產(chǎn)1.8nm。臺積電稱會在2024年擁有ASML次世代最先進(jìn)的光刻機(jī)。

有消息人士透露，三星電子已獲得ASML今年EUV光刻機(jī)產(chǎn)能中的18臺。這意味三星僅在EUV光刻機(jī)上就將投資超過4兆韓元。

新建光的刻機(jī)制造的車間，ASML已正式做了決定

ASML是世界上最好的光刻機(jī)供應(yīng)商，他們的DUV光刻機(jī)和EUV光刻機(jī)，已經(jīng)占據(jù)了中、高端的市場。

而EUV光刻機(jī)的出現(xiàn)，讓臺積電、三星、英特爾等公司，都在采購EUV光刻機(jī)，但因為產(chǎn)能的限制，三星等公司的EUV光刻機(jī)，也出現(xiàn)了嚴(yán)重的短缺。

據(jù)報道，三星公司很早以前就表示，希望ASML公司可以為其生產(chǎn)更多的EUV光刻機(jī)和其他設(shè)備，同時也想要優(yōu)先采購新一代的光刻機(jī)。

ASML公司在韓國建立了EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)基地，以滿足EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)需求，并將EUV光刻機(jī)交給三星等公司。

緊接著ASML宣布，將擴(kuò)大EUV光刻機(jī)等設(shè)備的生產(chǎn)規(guī)模，在2022年、2023年完成115部EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)，加快NAEUV光刻機(jī)的研發(fā)。

現(xiàn)在ASML已經(jīng)下定決心，要建立一條新的光刻機(jī)生產(chǎn)線，讓光刻機(jī)的產(chǎn)能更上一層樓。

ASML公司的官方信息顯示，新加坡的第二個生產(chǎn)車間將會在2023年初投入生產(chǎn)。

擴(kuò)建后，新加坡光刻機(jī)的產(chǎn)能將翻三番，而全球產(chǎn)能也將翻一番。

ASML之所以會在新加坡擴(kuò)大產(chǎn)能，建造新的光刻機(jī)，也是有原因的。

首先，對光刻機(jī)的需求量，已經(jīng)越來越大了。

由于全球缺芯，各大晶圓廠紛紛加大產(chǎn)能，三星將投入2000億美金擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，而臺積電、英特爾等公司則打算投入1000億美金擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

就連中芯國際、格芯、聯(lián)電等芯片代工企業(yè)，也都開始擴(kuò)充自己的芯片生產(chǎn)規(guī)模，而三星、SK、海力士、美光等公司，都在不斷地提高自己的生產(chǎn)技術(shù)，對光刻機(jī)的需求量也越來越大。

此外，ASML公司還透露，由于全球缺芯，導(dǎo)致了各個大型晶圓廠的產(chǎn)能擴(kuò)張，擴(kuò)大生產(chǎn)所需的光刻機(jī)和其他設(shè)備，在接下來的兩年里，都會有大量的缺貨。

這也是ASML公司不斷擴(kuò)充其能力的一個重要因素。

其次，亞洲是ASML最大的市場。

ASML公司的總部位于荷蘭，但是ASML公司是一家全球性的公司，它的研發(fā)和生產(chǎn)，涉及到了40多個國家和地區(qū)。

而ASML的生產(chǎn)基地遍布世界各地，荷蘭，德國，美國，新加波，更是遍布世界各地。

但從市場角度看，ASML最大的市場是亞洲，它的主要依靠中國、韓國，單是中韓兩國的芯片公司每年就為ASML帶來超過130億歐元的收入。

用于生產(chǎn) 2nm 芯片的 ASML 新款光刻機(jī)預(yù)計在 2025 年首次投入使用，對芯片廠商而言，“2nm 工藝戰(zhàn)”已經(jīng)打響。

對于芯片廠商而言，要想發(fā)展先進(jìn)制程，光刻機(jī)是關(guān)鍵設(shè)備。而從工藝技術(shù)和制造成本綜合因素考量，EUV 光刻機(jī)(極紫外光刻)被普遍認(rèn)為是 7nm 及以下工藝節(jié)點(diǎn)的最佳選擇。目前，在全球范圍內(nèi)僅有荷蘭的 ASML 公司能供應(yīng) EUV 光刻機(jī)。

據(jù)介紹，ASML 的 EUV 光刻技術(shù)使用 13.5 nm 的波長(幾乎是 X 射線范圍)，在微芯片上形成精細(xì)的線條。用于大批量制造，以創(chuàng)建先進(jìn)的微芯片(7 nm、5 nm 和 3 nm 節(jié)點(diǎn))高度復(fù)雜的基礎(chǔ)層，并支持新穎的晶體管設(shè)計和芯片架構(gòu)。

日前，在 2022 SPIE 高級光刻會議上，ASML 介紹了 EUV 的最新進(jìn)展。

根據(jù) ASML 最新消息，新款 EUV 光刻機(jī)正在研發(fā)中，NA 將從 0.33 增加到 0.55(NA 是光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑，表示光線的入射角度)，2nm 工藝的芯片都將依賴其實現(xiàn)。

為什么要沖刺高 NA EUV 光刻機(jī)?

光刻系統(tǒng)所能達(dá)到的分辨率是光刻收縮的主要驅(qū)動因素之一，它主要由所用光的波長和光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑?jīng)Q定。更短的波長可以打印出更小的特征;更大的數(shù)值孔徑可以更緊密地聚焦光線，也能夠帶來更好的分辨率。

ASML 光刻系統(tǒng)的發(fā)展一直是通過減少波長和增加數(shù)值孔徑來進(jìn)行演進(jìn)。

目前，ASML 的主力產(chǎn)品是 0.33NA EUV 光刻機(jī)，并正在大批量生產(chǎn)中。對于 0.33 NA 系統(tǒng)，ASML 正致力于通過增加吞吐量和降低總能量來減少每次曝光所需的能量。

在發(fā)力 0.33 NA EUV 光刻機(jī)的同時，ASML 也在沖刺研發(fā) 0.55 NA EUV 光刻機(jī)。