您知道工廠里將近 50% 的報廢是人為錯誤造成的嗎（參見圖 1）？ 實現(xiàn)異常管制計劃（OCAPs）的自動化是一個獲得投資回報的重要機會。
OCAP 是供工程師為了解和糾正流程或生產(chǎn)設(shè)備上的缺陷而遵循的計劃。例如，如果統(tǒng)計過程發(fā)生異常，相關(guān)設(shè)備的處理就會停止，從而允許工程師執(zhí)行一系列任務(wù)，使設(shè)備盡快恢復(fù)在線狀態(tài)。
圖1：雖然其他原因通常被認(rèn)為是停機的最大原因，但人為錯誤是停機的最大因素
數(shù)據(jù)可用性、可訪問性和完整性
但是，并非所有的任務(wù)都是現(xiàn)成的，或是平均地分配給工程師，并且沒有一個流程中的單一參數(shù)數(shù)據(jù)集能夠提供變異來源的完整圖景。用于控制計劃的數(shù)據(jù)通常駐留在不同的組件中，如SPC或FDC，它們各自具有的集成方法和數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)模型。在某些情況下，數(shù)據(jù)不存在、不完整，或者是在某個人的筆記本電腦上手動進行維護。此外，正確執(zhí)行恢復(fù)任務(wù)需要工程師制定適當(dāng)?shù)挠媱潱喿x并理解步驟，然后正確地執(zhí)行這些步驟。
內(nèi)建方法的價值
如今的晶圓廠需要一種更具凝聚力的方法，一種管理信息集并擴展設(shè)施自動化智能的方法。圖2概述了這種方法的需求，并重點介紹了實現(xiàn)具有適當(dāng)功能的OCAP解決方案的價值。
圖 2：使用適當(dāng)?shù)淖詣踊呗?，OCAP解決方案可使解決SPC和FDC違規(guī)的速度提高40%
減少可變性的集成工作流
為成功實施OCAP的這些組成部分并在您的工廠中擴展自動化智能，SmartFactory Knowledge Advisor提供集成的工作流引擎，該引擎可以：
在工作流中如上下文模式匹配（CPM）和數(shù)據(jù)模式中嵌入 AI 功能，幫助引導(dǎo)用戶
讓用戶能夠制定解決異常的行動計劃
通過提供具有直觀用戶界面體驗的工作流詳細(xì)信息來指導(dǎo)用戶解決錯誤（參見圖 3 示例）
減少與錯誤解釋因果關(guān)系相關(guān)的人為可變性
管理行動跟蹤，識別以前的故障排除活動
圖 3：此示例計劃說明了瀏覽器上Web Analytics中用戶界面的可用性，
并展示了如何在右側(cè)的主面板中輕松查看左側(cè)所選步驟的詳細(xì)信息
Knowledge Advisor有何與眾不同之處？
許多第三方或內(nèi)部OCAP解決方案缺乏多規(guī)程方法所需的“自動化掛鉤”。例如，它們可能只與SPC應(yīng)用一起工作，而缺乏從其他系統(tǒng)收集數(shù)據(jù)以幫助排除異常故障的能力。
然而，Knowledge Advisor 可容納來自任何應(yīng)用材料 E3?解決方案的數(shù)據(jù)，包括高級過程控制（APC）、SPC、FDC和配方管理（RM）。如圖4所示，該解決方案利用應(yīng)用材料E3的全部功能，促進從各種來源和AI功能收集數(shù)據(jù)。
圖 4：Knowledge Advisor 是唯一一套用于構(gòu)建與SmartFactory E3系列
完全集成的異常解決行動計劃的解決方案
通過使用通用平臺，工程師可以更好地管理配方、設(shè)備、SPC和FDC違規(guī)。如果您將E3用于FDC或 SPC，那么擁有一個通用平臺可以為您減少跨CIM的管理點。
結(jié)論
在當(dāng)今的晶圓廠中，人為錯誤是造成報廢和停機的最大原因。自動化的成本必須對照回收和報廢的成本來考慮。因此，關(guān)鍵是衡量什么樣的自動化水平適合保持具有競爭力的利潤率和對未來增長的投資。Knowledge Advisor旨在為客戶提供具有成本效益的靈活性。憑借其集成和準(zhǔn)確決策的能力，Knowledge Advisor使用戶能夠更有效地解決設(shè)備和流程故障。主要成果包括減少重復(fù)違規(guī)和錯誤決議、改進審計合規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)化錯誤處理活動和減少信噪比管理的AI能力。
我們的SmartFactory自動化解決方案已經(jīng)服務(wù)半導(dǎo)體行業(yè)超過30年，并在半導(dǎo)體工廠的各個方面都擁有一流的專業(yè)技術(shù)。
下載文檔
