俄羅斯繞過制裁 為35年前的光刻機續(xù)命

9月9日消息，據(jù)國外媒體報道稱，俄羅斯近日繞過了制裁，為本國存在了35年的光刻機續(xù)命。

報道中提到，盡管歐洲制裁禁止向俄羅斯實體出售任何高科技機器，但俄羅斯公司仍在2022年和2023年成功獲得了ASML 1990年代芯片制造機器的備件。

俄羅斯進口商已經(jīng)想方設法為ASML的PAS 5500光刻工具引進了至少170批備件，而ASML 則表示，近年來沒有銷售產(chǎn)品或與俄羅斯分銷商有任何往來。

ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出，并在20世紀90年代和2 世紀初不斷發(fā)展。如今，PAS 5500系列包括i-line、氟化氪(KrF)步進機以及 i-line、KrF 和氟化氬(ArF)步進掃描系統(tǒng)。

雖然ASML不再生產(chǎn)這些光刻工具，但它銷售翻新的PAS 5500機器，并計劃將其支持到2035年，因此市場上有大量的備件，尤其是在中國。

不過俄羅斯也根本沒啥怕的，在這之前他們首臺光刻機已經(jīng)制造完成并正在進行測試。

俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長瓦西里-什帕克指出，該設備可確保生產(chǎn)350nm的芯片。

在俄羅斯看來，盡管350nm的芯片技術相較之下顯得落后，但它在汽車、能源和電信等諸多行業(yè)中仍有著應用價值。

俄羅斯已經(jīng)表示，計劃到2026年實現(xiàn)65nm的芯片節(jié)點工藝，2027年實現(xiàn)28nm本土芯片制造，到2030年實現(xiàn)14nm國產(chǎn)芯片制造。