Intel制程和封裝4大突破:封裝吞吐量提升100倍
2月8日消息,最新一屆IEEE國際電子器件會議IEDM 2024上,Intel代工展示了四大半導(dǎo)體制程工藝突破,涵蓋新材料、異構(gòu)封裝、全環(huán)繞柵極(GAA)等領(lǐng)域。
目前,Intel正在持續(xù)推進(jìn)四年五個工藝節(jié)點(diǎn)的計(jì)劃,計(jì)劃到2030年在單個芯片上封裝1萬億個晶體管,因此先進(jìn)的晶體管技術(shù)、縮微技術(shù)、互連技術(shù)、封裝技術(shù)都至關(guān)重要。
Intel代工此番公布的四大突破包括:
1、減成法釕互連技術(shù)
該技術(shù)采用了釕這種替代性的新型金屬化材料,同時利用薄膜電阻率(thin film resistivity)、空氣間隙(airgap),Intel代工在互連微縮方面實(shí)現(xiàn)了重大進(jìn)步,具備可行性,可投入量產(chǎn),而且具備成本效益。
引入空氣間隙后,不再需要通孔周圍昂貴的光刻空氣間隙區(qū)域,也可以避免使用選擇性蝕刻的自對準(zhǔn)通孔(self-aligned via)。
在間距小于或等于25納米時,采用減成法釕互連技術(shù)實(shí)現(xiàn)的空氣間隙,可以使線間電容最高降低25%,從而替代銅鑲嵌工藝的優(yōu)勢。
該技術(shù)有望在Intel代工的未來制程節(jié)點(diǎn)中得以應(yīng)用。
2、選擇性層轉(zhuǎn)移(SLT)
一種異構(gòu)集成解決方案,能夠以更高的靈活性集成超薄芯粒(chiplet),對比傳統(tǒng)的芯片到晶圓鍵合(chip-to-wafer bonding)技術(shù),能大大縮小芯片尺寸,提高縱橫比,尤其是可以芯片封裝中將吞吐量提升高達(dá)100倍,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)超快速的芯片間封裝。
這項(xiàng)技術(shù)還帶來了更高的功能密度,再結(jié)合混合鍵合(hybrid bonding)或融合鍵合(fusion bonding)工藝,封裝來自不同晶圓的芯粒。
3、硅基RibbonFET CMOS晶體管
為了進(jìn)一步縮小RibbonFET GAA晶體管,Intel代工展示了柵極長度為6納米的硅基RibbonFET CMOS晶體管。
它在大幅縮短柵極長度、減少溝道厚度的同時,對短溝道效應(yīng)的抑制和性能也達(dá)到了業(yè)界領(lǐng)先水平。
它為進(jìn)一步縮短柵極長度鋪平了道路,而這正是摩爾定律的關(guān)鍵基石之一。
4、用于微縮的2D GAA晶體管的柵氧化層
為了在CFET(互補(bǔ)場效應(yīng)晶體管)之外進(jìn)一步加速GAA技術(shù)創(chuàng)新,Intel代工展示了在2D GAA NMOS(N 型金屬氧化物半導(dǎo)體)和PMOS(P 型金屬氧化物半導(dǎo)體)晶體管制造方面的研究。
該技術(shù)側(cè)重于柵氧化層模塊的研發(fā),將晶體管的柵極長度縮小到了30納米。
同時,2D TMD(過渡金屬二硫化物)研究也取得了新進(jìn)展,未來有望在先進(jìn)晶體管工藝中替代硅。
此外值得一提的是,Intel代工還在300毫米GaN(氮化鎵)方面持續(xù)推進(jìn)開拓性的研究。
Intel代工在300毫米GaN-on-TRSOI(富陷阱絕緣體上硅)襯底上,制造了業(yè)界領(lǐng)先的高性能微縮增強(qiáng)型GaN MOSHEMT(金屬氧化物半導(dǎo)體高電子遷移率晶體管),可以減少信號損失,提高信號線性度和基于襯底背部處理的先進(jìn)集成方案。