電子式濕度傳感器是近幾十年，特別是近20年才迅速發(fā)展起來的。濕度傳感器生產(chǎn)廠在產(chǎn)品出廠前都要采用標準濕度發(fā)生器來逐支標定，電子式濕度傳感器的準確度可以達到2%一3%RH。
電子式濕度傳感器的精度水平要結(jié)合其長期穩(wěn)定性去判斷，一般說來，電子式濕度傳感器的長期穩(wěn)定性和使用壽命不如干濕球濕度傳感器。濕度傳感器是采用半導(dǎo)體技術(shù)，因此對使用的環(huán)境溫度有要求，超過其規(guī)定的使用溫度將對傳感器造成損壞。 所以電子式濕度傳感器測濕方法更適合于在潔凈及常溫的場合使用。
濕度作為世界計量領(lǐng)域中著名的難題，而目前的電子式濕度傳感器影響其測量精度的誤差又有哪些呢？下面來為大家分析一下：
一、濕度傳感器的誤差
敏感元件分散性造成：即元件阻值、容值對濕度響應(yīng)的離散性；
信號轉(zhuǎn)換產(chǎn)生誤差：即阻值、容值轉(zhuǎn)換為電壓、電流信號時產(chǎn)生；
溫漂、時漂造成：濕敏元件必需和被測氣體直接接觸，不能象其它電子器件那樣完全密封。故容易被空氣中的酸性、堿性成分及有機溶劑腐蝕、污染，所以濕敏元件難以做到長壽命，需要定期標定。壽命較長，穩(wěn)定性好的傳感器標定后可繼續(xù)使用，達十年以上。
二、二次儀表中，對信號的處理引入的誤差
對信號放大、補償、修正后產(chǎn)生的失真；例如有的濕敏元件溫度系數(shù)是個變量，常溫下補償后，高溫時仍有誤差。
整機電路的零點漂移、溫度漂移產(chǎn)生的誤差。
三、傳感器、變送器在校準，標定時產(chǎn)生的誤差
標定設(shè)備的干燥系統(tǒng)、飽和系統(tǒng)不理想；或者雙壓法、雙溫法設(shè)備的壓力、溫度測量控制不準；在分流法設(shè)備中因質(zhì)量流量計不準；在露點法中，因采樣氣時導(dǎo)管漏氣或?qū)Ч芴L而影響溫度都會產(chǎn)生較大的誤差。
平衡時間不夠或難以達到平衡產(chǎn)生的誤差。敏感元件周圍有發(fā)熱體（如功率較大的元器件）也會影響測量結(jié)果。
傳感器在工作室停留位置不同產(chǎn)生的誤差。
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