氣體質(zhì)量流量控制器的氣體質(zhì)量流量計常見問題

　　實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，這是什么原因呢，其實(shí)原因很簡單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的Ｃ值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。


　　CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。我覺得如果稍微了解氣體的話，就會分出苗條的輕量級和大力士的重量級。雖然有一部分例外，但一般是這樣的。


　　CF的說明在各廠家的主頁、宣傳冊和使用說明書上都有。但是，如果只記住了概念，可能會像在烈日下曬昏了頭的Deco那樣會把話說反，所以下面就講一個實(shí)例來加深記憶。


　　假設(shè)某臺MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是比N2多出1.4倍的流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4＝約0.71，少30%的流量


　　因此您的控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時，是不是考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。