等離子清洗設(shè)備的最大特點是不分處理對象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。
一、表面清洗
材料表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷等多種材料。
二、表面活化
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團，增強表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會損害樣品，同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
三、表面刻蝕
在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣化物(例如在使用氟氣對硅刻蝕時)。處理氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。無需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料
四、表面接枝與聚合
在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時，采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團，利用此基團與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。
使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大地提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點。使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，很容易保持清潔衛(wèi)生。
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