當今，隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等新一代高新技術的快速發(fā)展，我國的傳統(tǒng)制造業(yè)取得了很大的發(fā)展。其中，MEMS半導體傳感器芯片對于智能物聯(lián)網(wǎng)時代的發(fā)展起到了必不可少的作用。
據(jù)麥姆斯咨詢了解，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營，成功量產出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片，并為部分珠三角客戶提供MEMS半導體芯片代工服務。該生產線的建成投產標志奧松電子成為華南地區(qū)領先的MEMS半導體傳感器芯片生產基地，推動國內、特別是粵港澳大灣區(qū)的MEMS半導體傳感器高質量發(fā)展奠定了良好的基礎。
奧松電子斥巨資打造MEMS半導體芯片生產線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區(qū)、百級潔凈度光刻區(qū)、千級潔凈度鍍膜區(qū)、千級潔凈度刻蝕區(qū)、千級潔凈度離子注入?yún)^(qū)及參觀通道等。整個潔凈車間安裝了多套高性能風淋系統(tǒng)，對進入潔凈間的員工或者貨物進行徹底風淋除塵。
該生產線一期工程于2019年3月立項，2019年6月正式進入施工階段。經過6個月的施工，生產線的基礎設施已安裝完成。2020年，多臺步進式投影光刻機、雙面光刻機、涂膠顯影機、深硅刻蝕機、大束流離子注入機、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機、探針臺、應力測試儀、全自動RCA清洗機等先進的自動化生產設備搬入，生產線正式投入運營。
奧松電子MEMS半導體生產線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產設備約占整個投資規(guī)模的70%。一期工程已成功量產出溫濕度傳感器、空氣質量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等多款優(yōu)質的芯片產品。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產線;2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產線;總項目全部建成投產后，每月流片規(guī)模將達到4萬片，滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區(qū)各類MEMS半導體芯片的代工需求。
隨著物聯(lián)網(wǎng)時代的到來，珠三角經濟區(qū)作為中國最重要的制造基地之一，一直走在時代的前列?！痘浉郯拇鬄硡^(qū)發(fā)展規(guī)劃綱要》政策落實后，廣州作為廣東省省會城市和經濟中心、一帶一路新亞歐大陸經濟走廊主要節(jié)點城市和海上合作戰(zhàn)略支點，優(yōu)勢地位不斷得到提升。奧松電子立足廣州，在MEMS半導體傳感器領域打破了國外企業(yè)的壟斷，實現(xiàn)國產替代進口，勇?lián)鷼v史使命，為粵港澳大灣區(qū)建設貢獻自己的一份力量。
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