MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表,MEMS隨著微機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)等學(xué)科的興起,又基于科里奧利振動效應(yīng)和微納加工技術(shù),MEMS陀螺儀開始出現(xiàn)。ER-MG2-50/100作為MEMS陀螺儀中的高精度陀螺儀,具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、價格低廉、便于批量生產(chǎn)等特點(diǎn),解決了第一代和第二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的缺點(diǎn),精度和穩(wěn)定性不斷提高。
MEMS壓力傳感器是基于MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體集成電路制造加工技術(shù),以利用單晶硅硅片等傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料制作而成的芯片作為主要組成部分,將壓強(qiáng)信號轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號的壓力測量器件。MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設(shè)計技術(shù)和制造工藝,進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡單易用和智能化。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置,能夠測量或保持方向。這是通過對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的角速度進(jìn)行檢測和測量實(shí)現(xiàn)的。MEMS陀螺儀的工作原理基于科里奧利(Coriolis)效應(yīng)。這是一個物理現(xiàn)象,在旋轉(zhuǎn)參考系中,運(yùn)動物體受到一種橫向的力,稱為科里奧利力。
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MEMS傳感器是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。除了智能手機(jī),MEMS傳感器將會在 AR/VR、可穿戴等消費(fèi)電子,智能駕駛、智能工廠、智慧物流、 智能家居、環(huán)境監(jiān)測、智慧醫(yī)療等物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
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工業(yè)以太網(wǎng)是一種專為工業(yè)控制系統(tǒng)設(shè)計的網(wǎng)絡(luò)協(xié)議,它采用以太網(wǎng)技術(shù),并借鑒了傳統(tǒng)的工業(yè)通信協(xié)議,如MODBUS、PROFINET等?;趹?yīng)用技術(shù)的設(shè)計以實(shí)現(xiàn)工業(yè)以太網(wǎng)的使用,可以分為硬件和軟件兩個方面。本文將詳細(xì)介紹這些方面的設(shè)計和實(shí)現(xiàn)方法。