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[導讀]主動式矩陣有機發(fā)光二極體(AMOLED)線型蒸鍍源可有效提升材料利用率。為降低AMOLED材料損耗量,具備線型蒸鍍源技術(shù)的鍍膜設(shè)備利用多點鍍膜原理不僅可提高材料利用率,亦可使AMOLED面板上的發(fā)光材料更為均勻,以達高飽

主動式矩陣有機發(fā)光二極體(AMOLED)線型蒸鍍源可有效提升材料利用率。為降低AMOLED材料損耗量,具備線型蒸鍍源技術(shù)的鍍膜設(shè)備利用多點鍍膜原理不僅可提高材料利用率,亦可使AMOLED面板上的發(fā)光材料更為均勻,以達高飽和度色彩之效。

優(yōu)貝克(Ulvac)營業(yè)經(jīng)理黃圣棕表示,提升AMOLED發(fā)光材料的使用效率才是減輕制造成本的關(guān)鍵,而采用線型蒸鍍源技術(shù)的鍍膜設(shè)備則可大幅提升材料使用率。

優(yōu)貝克營業(yè)經(jīng)理黃圣棕表示,由于AMOLED面板必須藉由蒸鍍技術(shù)均勻涂布發(fā)光材料,才可使產(chǎn)品發(fā)揮出高飽和度、廣視角以及高解析度等優(yōu)勢特性,因此,鍍膜完成度較高的設(shè)備將是面板廠優(yōu)先采購的因素之一。

黃圣棕進一步指出,過往傳統(tǒng)的鍍膜設(shè)備大多是采用單點蒸鍍源技術(shù),其材料利用率僅5%,換言之,100公克的有機發(fā)光材料進入使用單點蒸鍍源技術(shù)的設(shè)備后,將只有5公克可真正被應(yīng)用到AMOLED面板中,而剩下的95%材料則在制程中被浪費掉,對面板廠而言無疑是增加成本。

為解決材料利用率過低的問題,優(yōu)貝克新型鍍膜設(shè)備--ZELDA采用線型蒸鍍源技術(shù),可將材料利用率大幅提升至20%,并可均勻地將有機發(fā)光材料鍍在AMOLED面板上,提升面板廠前段制程的良率。

除線型蒸鍍源外,ZELDA更可同時作為面板廠進行試產(chǎn)與量產(chǎn)之用,可對應(yīng)2~3.5代線各種基板尺寸,為客戶提供更高的產(chǎn)能利用彈性。黃圣棕補充,由于AMOLED量產(chǎn)良率至少要達75%才有獲利的空間,因此,面板廠若使用可同時兼具試產(chǎn)與量產(chǎn)能力的設(shè)備,將可大幅減少設(shè)備投資成本。

另一方面,目前AMOLED蒸鍍設(shè)備亦分為枚葉式與In-line兩種,設(shè)備供應(yīng)商將依照客戶量產(chǎn)能力與需求提供不同選項產(chǎn)品。黃圣棕分析,枚葉式由于真空腔各自獨立,面板在鍍膜時須以機器手臂夾取,導致傳動速度較慢,所以產(chǎn)能較低,但通常良率較高;In-line則是將真空腔串聯(lián)在一起,面板在鍍膜的過程中毋須經(jīng)過機器手臂傳動,產(chǎn)能較高且省時,但缺點則是良率較差。

然而,無論是采用何種方式生產(chǎn)AMOLED面板,最重要的還是面板廠本身對整體流程的掌握度與經(jīng)驗。黃圣棕認為,影響AMOLED面板良率的因素相當多,除前段的鍍膜外,后段封裝過程亦相當重要,因此生產(chǎn)經(jīng)驗及對供應(yīng)商的掌控度要夠高,才有機會進一步提升良率。

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