據市場研究機構YoleDevelopment的最新統(tǒng)計數據，2011年世界微機電系統(tǒng)市場規(guī)模達到了102億美元，比2010年增長19%，這一增長速度遠超同年1.8%的世界半導體總體營收增幅和4%的世界Fabless銷售額漲幅。
MEMS發(fā)展歷史雖然已有數十年的時間，但近年來隨著智能手機、汽車電子、醫(yī)療電子、物聯(lián)網等產業(yè)的快速發(fā)展，對陀螺儀、射頻(RF)MEMS元件、MEMS麥克風等MEMS元件產品的需求量將會持續(xù)攀升，推動MEMS產業(yè)進入快速發(fā)展階段。
高價值MEMS主打醫(yī)療生物領域
醫(yī)療電子應用領域的MEMS市場正在快速增長，2011年高價值MEMS市場需求額19億美元，需求數量約1.2億顆。iSuppli預計今后5年高價值MEMS市場將以20%左右的年復合成長率(CAGR)增長。
醫(yī)療電子及醫(yī)療儀器等領域需求的高價值MEMS市場，會隨著全球暖化與人口高齡化等因素影響，不僅近年來獲得快速發(fā)展，將來還會獲得更加強勁的增長。
MEMS可用于許多生物和醫(yī)療電子產品中，如心臟起搏器、精密手術儀器、醫(yī)療機器、仿生眼、智能假肢、血糖儀、數字血壓計、血氣分析儀、數字脈搏和心率、數字溫度計、懷孕測試儀、透皮給藥系統(tǒng)、透析系統(tǒng)和氧濃縮器等。許多醫(yī)療電子產品使用的技術越來越復雜，為了確保包括醫(yī)護人員、病患本人以及最重要的家庭用戶在內的每個人都能安全有效地使用這些產品，對這些產品的設計要求越來越高，并且其中許多要求可能存在沖突。對于設計師來說，所有這一切則意味著要在給定空間上實現(xiàn)更多的功能，同時盡可能地降低功率，都需要用到高性能、高可靠的MEMS傳感器，從傳感器機制到整機產品的系統(tǒng)特性，以實現(xiàn)將生命體的運動檢測轉化為對醫(yī)療保健有用的電信號。
在醫(yī)療電子應用領域，MEMS技術的目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，這樣不僅可以降低機電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可以嵌入大尺寸系統(tǒng)中，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。MEMS技術開辟了一個全新醫(yī)療電子產業(yè)。
以英國為基地開展納米技術研發(fā)的英國Innos，作為從英國貿易工業(yè)部(DTI)取得資金援助的聯(lián)盟一員，將開展在醫(yī)療領域應用MEMS發(fā)電機的相關研究。該組織的研究項目是Self-EnergizingImplantableMedicalMicroSystems(SIMM)，時間為兩年。將開發(fā)、試制可從人體內部及外部的運動中獲取能量的元件。
Innos將采用英國Perpetuum提供的振動能量捕獲式微型發(fā)電機，進行基于硅的開發(fā)及元件加工，并向英國FinsburyOrthopaedics提供樣機以進行綜合測試。英國InVivoTechnology已經證實了能量捕獲裝置的臨床兼容性和臨床可行性。英國OdstockMedical將在功能性電刺激(FES)市場采用此技術。該項目的主導方加拿大卓聯(lián)半導體(ZarlinkSemiconductor)將提供尖端微型封裝技術。
醫(yī)療電子應用領域的MEMS市場正在快速增長，2011年高價值MEMS市場需求額19億美元，需求數量約1.2億顆。iSuppli預計今后5年高價值MEMS市場將以20%左右的年復合成長率(CAGR)增長。Yole預測，到2016年，生物和醫(yī)療電子領域用MEMS將占全球市場總需求的24%。
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