高效發(fā)光的GaN Micro LED
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隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,LED技術(shù)也在不斷發(fā)展,為我們的生活帶來各種便利,為我們提供各種各樣生活信息,造福著我們?nèi)祟悺.a(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所和東北大學(xué)于2019年7月宣布,他們開發(fā)了一種在電流密度較低情況下也能保持發(fā)光效率的GaN(氮化鎵)Micro LED。他們?cè)囎龅腉aN Micro LED尺寸僅為6μm見方,如果把這款GaN Micro LED以較高的密度排列的話,就可以獲得高效率、高分辨率的Micro LED顯示屏。
本次研究中,產(chǎn)總研致力于研究通過中性粒子光束蝕刻(Beam Etching)技術(shù)制作具有GaN納米結(jié)構(gòu)的LED;日本東北大學(xué)開發(fā)了對(duì)半導(dǎo)體材料幾乎不會(huì)產(chǎn)生損傷的中性粒子光束蝕刻技術(shù)(Beam Etching)。兩家單位通過合作,共同開發(fā)了GaN Micro LED。
該研究小組此次采用了中性粒子光束蝕刻(Beam Etching)技術(shù)和傳統(tǒng)的ICP蝕刻(Etching)技術(shù),分別制作了4種不同尺寸(40μm見方、20μm見方、10μm見方、6μm見方)的GaN Micro LED。
關(guān)于6μm的Micro LED,當(dāng)電流密度為5A/cm2時(shí),比較了采用兩種技術(shù)后的發(fā)光效率。結(jié)果,利用中性粒子光束蝕刻技術(shù)試做的產(chǎn)品的發(fā)光效率幾乎是ICP蝕刻技術(shù)的5倍。
使用6μm的Micro LED,顯示屏的分辨率就會(huì)超過2000像素(Pixel)/英寸,那么就可以應(yīng)用于虛擬現(xiàn)實(shí)(AR)、擴(kuò)展現(xiàn)實(shí)(XR)的頭戴式顯示屏(Head Mount Display)等用途。雖然LED在生活中處處可見,但是LED也還有一些不足需要我們的設(shè)計(jì)人員擁有更加專業(yè)的知識(shí)儲(chǔ)備,這樣才能設(shè)計(jì)出更加符合生活所需的產(chǎn)品。