屏東地震臺積奇美電清查南科廠損失

時間：2012-02-27 11:06:36

關鍵字：聯(lián)電保護裝置半導體臺積電

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[導讀]屏東出現(xiàn)6.1級地震，臺南市最高震度達到五級，南科則達四級，半導體與面板產(chǎn)業(yè)震程都因為震度超出設計的防護震度、自動當機，奇美電廠區(qū)昨（26）日疏散員工。在南科設廠的臺積電、聯(lián)電、奇美電表示，目前正清查制程延

屏東出現(xiàn)6.1級地震，臺南市最高震度達到五級，南科則達四級，半導體與面板產(chǎn)業(yè)震程都因為震度超出設計的防護震度、自動當機，奇美電廠區(qū)昨（26）日疏散員工。在南科設廠的臺積電、聯(lián)電、奇美電表示，目前正清查制程延誤及在制品損失，尚無法判斷受影響的程度。

南科地震震度已達到機臺設備所設定的自動保護裝置的震度，廠區(qū)內(nèi)的半導體與面板廠商機臺都出現(xiàn)自動斷電，廠商在檢查相關設備、機臺的狀況后，陸續(xù)恢復生產(chǎn)，估計將影響一定程度的產(chǎn)量。

以面板廠商而言，廠務人員指出，昨天的震度不致造成災損，敏感機臺如曝光機、濺鍍機等真空設備，若因地震自動啟動保護裝置關機，重新開機只需花約二小時，即可投入生產(chǎn)。但若地震時造成真空備設內(nèi)有破片、或是機臺的零組件損壞需更換，則要依序完成：降溫、處理、升溫等作業(yè)，至少要花上一天的時間，會有制程延誤的損失。

奇美電財務長陳彥松指出，地震引發(fā)奇美電南科廠部份機臺啟動保護裝置關機，必需重新啟動，并未造成太大影響。

至于半導體晶圓廠，廠務人員表示，地震若達三級、四級以上，半導體制程設備機臺就會自動啟動保護裝置關機。

臺積電在南科有二座晶圓廠，臺積電處長孫又文表示，地震發(fā)生時，南科廠依規(guī)定做人員疏散約一小時，返回生產(chǎn)線清查無塵室均未受損。至于生產(chǎn)線上是否有在制晶圓受損尚待進一步評估。

聯(lián)電在南科也有12寸廠，聯(lián)電財務長劉啟東指出，地震沒有造成重大影響，但部份敏感機臺自動關機，需要重新啟動，無法評論損失。

竹科管理局副局長兼發(fā)言人杜啟祥及南科管理局長陳俊偉表示，沒有接獲任何園區(qū)事故通報，竹科及南科的水電供應無損，園區(qū)正常運作。

至于高雄部分，除了高捷短暫停駛之外，高屏地區(qū)各工業(yè)區(qū)未傳災情。