瑞薩公開(kāi)那珂工廠的恢復(fù)情況，300mm晶圓生產(chǎn)線開(kāi)始試產(chǎn)

瑞薩電子2011年4月27日向媒體公開(kāi)了因震災(zāi)影響而停產(chǎn)的該公司那珂工廠（茨城縣常陸那珂市）的恢復(fù)情況。廠房及無(wú)塵室已于4月10日恢復(fù)，目前的主要工作是啟動(dòng)生產(chǎn)設(shè)備。200mm生產(chǎn)線已于4月23日開(kāi)始試產(chǎn)，目標(biāo)是6月15日正式恢復(fù)生產(chǎn)。300mm生產(chǎn)線也于4月25日開(kāi)始試產(chǎn)，目標(biāo)是7月份正式恢復(fù)生產(chǎn)。“目前正在為盡快恢復(fù)生產(chǎn)全力以赴做努力”（瑞薩電子執(zhí)行董事兼生產(chǎn)本部本部長(zhǎng)鶴丸哲哉）。

那珂工廠擁有生產(chǎn)汽車用MCU（微控制器）等的200mm生產(chǎn)線“N2”，以及生產(chǎn)手機(jī)用SoC芯片等的300mm生產(chǎn)線“N3”。N2的產(chǎn)能以200mm晶圓計(jì)算為3萬(wàn)4000塊/月，N3的產(chǎn)能以300mm晶圓計(jì)算為1萬(wàn)4000塊/月（按200mm晶圓換算為3萬(wàn)4000塊/月）。在瑞薩電子的MCU總產(chǎn)量中，這兩條生產(chǎn)線占25％。另外，那珂工廠生產(chǎn)的MCU有60％為汽車用產(chǎn)品。

在此次說(shuō)明會(huì)上，記者參觀了200mm生產(chǎn)線（N2）。盡管無(wú)塵室內(nèi)整潔有序，但仍有多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備亮著表示“尚在啟動(dòng)中”的紅燈。雖然瑞薩電子表示將在6月15日正式恢復(fù)生產(chǎn)，但最初的產(chǎn)能估計(jì)只有3000塊/月，僅為原來(lái)的10％。

N2生產(chǎn)線于4月23日上午8時(shí)45分投入了試驗(yàn)批次（以25塊硅晶圓為1組）。批次名稱為“絆”(紐帶的意思)。當(dāng)日舉行了試產(chǎn)啟動(dòng)儀式，但剪彩彩帶使用的是包裝用的膠帶。由于是非常時(shí)期，因此“除此之外沒(méi)有找到合適的東西”（瑞薩電子生產(chǎn)本部那珂工廠廠長(zhǎng)青柳隆）。

N3生產(chǎn)線于4月25日上午前10時(shí)投入了試驗(yàn)批次。批次名稱為“蓋亞”（Gaia，希臘神話中的大地女神）。盡管N3的受災(zāi)程度與N2沒(méi)多大差別，但與使用130nm工藝的N2相比，使用40nm工藝的N3在啟動(dòng)生產(chǎn)設(shè)備上花費(fèi)了更長(zhǎng)時(shí)間。

今后即使恢復(fù)工作順利，那珂工廠的產(chǎn)量也很難恢復(fù)到震災(zāi)前的水平?！白罱K將把那珂工廠的生產(chǎn)與替代生產(chǎn)（包括瑞薩集團(tuán)內(nèi)外的生產(chǎn)）的比率保持在1比1的狀態(tài)，由此來(lái)彌補(bǔ)震災(zāi)前那珂工廠的產(chǎn)量”（鶴丸）。

日本氣象廳的觀測(cè)數(shù)據(jù)顯示，在3月11日地震當(dāng)天，那珂工廠周邊地區(qū)的震度只有“6級(jí)多”。不過(guò)，在那珂工廠內(nèi)計(jì)測(cè)到的搖晃的加速度為950Gal（伽），因此“震度與7級(jí)相當(dāng)”（那珂工廠廠長(zhǎng)青柳?。?BR>
這一強(qiáng)烈搖晃使那珂工廠受損嚴(yán)重。比如，N2棟與N3棟廠房間有走廊連接，連廊部分因主體搖晃而出現(xiàn)斷裂。斷裂部分目前還在修復(fù)之中，4月27日向媒體公開(kāi)時(shí)仍搭著腳手架。

從輔助設(shè)備來(lái)看，設(shè)置在天花板上的電線支架在地震時(shí)均被震落。在N2棟廠房的無(wú)塵室內(nèi)，除生產(chǎn)設(shè)備的隔斷損壞之外，天花板也部分脫落。在N3棟廠房的無(wú)塵室內(nèi)，隨著墻壁崩落，鋼筋外露。而且，固定生產(chǎn)設(shè)備的抗震用金屬零件也發(fā)生變形，設(shè)備移動(dòng)了數(shù)cm?！芭c震源位于宮城縣海域的震級(jí)9級(jí)的搖晃相比，之后發(fā)生的以茨城縣海域?yàn)檎鹪吹膿u晃使生產(chǎn)設(shè)備遭受了更大損壞”（青柳）。不過(guò)，據(jù)悉這些受損設(shè)備已于4月10日完全恢復(fù)。

在廠房、輔助設(shè)備及無(wú)塵室的恢復(fù)時(shí)間上，瑞薩電子將當(dāng)初公布的5月中旬提前到了4月10日，其原因大致有五點(diǎn)：（1）來(lái)自瑞薩集團(tuán)內(nèi)外的支援在高峰時(shí)（4月份的第一周）達(dá)到每天約2500人次；（2）得到了構(gòu)件廠商的協(xié)助；（3）努力提高了工作效率；（4）恢復(fù)工作采用24小時(shí)制；（5）大力加強(qiáng)了安全管理。

離子注入?yún)^(qū)。（點(diǎn)擊放大）擴(kuò)散區(qū)。生產(chǎn)設(shè)備上亮著紅燈。

另外，生產(chǎn)設(shè)備的恢復(fù)時(shí)間也有望從當(dāng)初預(yù)定的6月中旬提前至5月中旬。原因在于：（a）來(lái)自設(shè)備廠商的支援在最多時(shí)達(dá)到每天約700人次；（b）客戶企業(yè)也提供了支援；（c）得到了部件及材料廠商的協(xié)助；（d）海內(nèi)外的同行半導(dǎo)體廠商讓出了部分部件；（e）從大股東的3家公司（三菱、日立、NEC）以及瑞薩集團(tuán)內(nèi)部得到了技術(shù)人員方面的支援（約200人）；（f）恢復(fù)工作采用24小時(shí)制。