MEMS引領(lǐng)行動(dòng)感測(cè)新世界

曾幾何時(shí)，任誰(shuí)也沒(méi)料想到智慧手機(jī)與平板電腦的行動(dòng)裝置狂潮會(huì)如此洶涌，使得威風(fēng)已久的PC產(chǎn)業(yè)銷售量節(jié)節(jié)敗退。傳統(tǒng)的單純收發(fā)電話及SMS簡(jiǎn)訊功能對(duì)于現(xiàn)代人而言不再是最重要的功能，取而代之的是數(shù)以萬(wàn)計(jì)的行動(dòng)Apps才是最令使用者傾心。加上，「提升使用者的使用體驗(yàn)」逐漸成為行動(dòng)裝置設(shè)備設(shè)計(jì)的重要趨勢(shì)，為了要讓行動(dòng)裝置設(shè)備擁有更多的創(chuàng)新功能，MEMS（Micro ElectroMechanical System，MEMS）微機(jī)電系統(tǒng)可說(shuō)是扮演著相當(dāng)重要的角色。


附圖 : MEMS引領(lǐng)行動(dòng)感測(cè)新世界（圖/www.nsc.gov.tw） BigPic:400x268
從近期三星所發(fā)表的Galaxy S4智慧手機(jī)來(lái)看，就能窺知手機(jī)大廠除了在功能創(chuàng)新度上比拚之外，「該如何與人類生活更加貼近」更是一大重點(diǎn)，使用者僅需透過(guò)智慧手機(jī)內(nèi)建的溫度感測(cè)元件，便得以即時(shí)監(jiān)測(cè)氣溫變化，以及搭配專屬的心跳脈搏測(cè)量腕帶套件，就能即時(shí)將所測(cè)得的數(shù)據(jù)回傳至手機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，再再顯示生活保健的相關(guān)功能開(kāi)始導(dǎo)入到智慧手機(jī)。

舉凡從蘋果的iPhone（采用MEMS加速器），直至任天堂Wii（采用MEMS三軸加速器）、XBOX Kinect都是使用了大量MEMS微機(jī)電系統(tǒng)，以便賦予裝置具備環(huán)境感知的功能。所謂的MEMS微機(jī)電系統(tǒng)是采用半導(dǎo)體制程技術(shù)，整合電子及機(jī)械功能制作而成的微型裝置，簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)MEMS就像是人類的五官，擁有感測(cè)、處理或致動(dòng)的功能，將兩個(gè)或多個(gè)電子、機(jī)械、光學(xué)、磁學(xué)或其他性質(zhì)整合到一個(gè)單一或多晶片上。

進(jìn)而在晶片上創(chuàng)造出聲學(xué)、慣性和射頻系統(tǒng)，能夠感測(cè)外在的變化，以及針對(duì)系統(tǒng)中包括速度、震動(dòng)、沖擊、傾斜、旋轉(zhuǎn)五種動(dòng)作進(jìn)行感測(cè)。MEMS微機(jī)電系統(tǒng)目前所采用的制程技術(shù)大致與半導(dǎo)體相同（CMOS制程），其特色為價(jià)格較便宜，同時(shí)兼具輕薄化。隨消費(fèi)性電子之快速崛起，MEMS成為行動(dòng)裝置中的重要元件，加上有越來(lái)越多穿戴式智慧裝置陸續(xù)問(wèn)世，相信未來(lái)隨處可見(jiàn)智慧感測(cè)。