[導(dǎo)讀]微機電系統(tǒng)(MEMS)微流體(Microfluidics)晶片行情看漲。MEMS微流體逐漸在生物醫(yī)療市場嶄露鋒芒，瞄準(zhǔn)此一商機，MEMS設(shè)計代工廠--IMT(Innovative Micro Technology)正利用專利三維(3D)MEMS晶圓制程，擴大整合微流體、微
微機電系統(tǒng)(MEMS)微流體(Microfluidics)晶片行情看漲。MEMS微流體逐漸在生物醫(yī)療市場嶄露鋒芒，瞄準(zhǔn)此一商機，MEMS設(shè)計代工廠--IMT(Innovative Micro Technology)正利用專利三維(3D)MEMS晶圓制程，擴大整合微流體、微閥門(Microvalve )及光學(xué)元件，期打造客制化、高速與高精準(zhǔn)細(xì)胞分選(Cell Sorting)方案，吸引醫(yī)療設(shè)備業(yè)者青睞。
IMT業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁Craig T. Trautman認(rèn)為，MEMS晶圓代工潛力巨大，特別是工業(yè)、醫(yī)療等高階應(yīng)用市場，更將涌現(xiàn)龐大客制化MEMS元件設(shè)計需求。
IMT業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁Craig T. Trautman表示，近期IMT量產(chǎn)22奈米(nm)立體堆疊MEMS微流體晶片，已獲Owl Biomedical新一代細(xì)胞分選系統(tǒng)--Nanosorter采納，為生物醫(yī)療產(chǎn)業(yè)帶來重大技術(shù)突破。該晶片基于IMT獨家矽穿孔(TSV)制程，可堆疊四到五片22奈米MEMS晶圓，有利于整合微流體、微型閥、光學(xué)及電磁致動器(Electromagnetic Actuation)等元件，進(jìn)而提高晶片工作效率與精準(zhǔn)度，并大幅縮減占位空間。
據(jù)悉，IMT與Owl Biomedical合作開發(fā)的高速、可拋棄式(Disposable)細(xì)胞分選系統(tǒng)，提高初始細(xì)胞存活(Cell Viability)率至97%、檢測吞吐量則高達(dá)每小時兩億個細(xì)胞；從而快速辨別細(xì)胞好壞，用于監(jiān)控人體狀態(tài)、改善癌癥治療方法及個人化藥物調(diào)配等醫(yī)療行為。Trautman強調(diào)，此方案完全發(fā)揮MEMS微流體的應(yīng)用價值，將快速打開生物醫(yī)療市場，并引爆一波高品質(zhì)、客制化MEMS元件設(shè)計與代工商機。
除生物醫(yī)療應(yīng)用外，由于IMT擁有上百項MEMS制造專利，故也為射頻(RF)、光網(wǎng)路、導(dǎo)航、能源及測試領(lǐng)域提供完整MEMS設(shè)計及代工服務(wù)。旗下產(chǎn)品陣容涵蓋MEMS微流體、微型閥、微幫浦(Micropump)、光學(xué)、磁力計、加速度計、陀螺儀、晶圓級封裝(WLP)與矽穿孔制程等；還可提供MEMS矽智財( IP)整合平臺設(shè)計構(gòu)思，協(xié)助客戶催生客制化晶片解決方案。
Trautman不諱言，盡管多半MEMS市場仍掌握在整合元件制造商(IDM)手中，然而，隨著MEMS技術(shù)在行動、工業(yè)級醫(yī)療應(yīng)用領(lǐng)域大放異彩，晶片代工需求亦跟著水漲船高，將逐漸讓MEMS產(chǎn)業(yè)跳脫IDM統(tǒng)包供應(yīng)模式。也因此，IMT遂致力推廣高價值MEMS生產(chǎn)業(yè)務(wù)，現(xiàn)同一時間皆有35～40個代工訂單進(jìn)行中，產(chǎn)能利用率也幾近滿載，高達(dá)99%；并已開始部署MEMS微流體IP授權(quán)與設(shè)計服務(wù)攻勢，加快腳步圈地生物醫(yī)療市場。
看準(zhǔn)MEMS出貨量將逐年遞增，且產(chǎn)品研發(fā)時程也將更加緊縮，Trautman透露，IMT已投入MEMS與互補式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)晶圓堆疊技術(shù)研發(fā)，未來可望透過打線接合( Wire Bonding)方式，制作更高整合度的MEMS感測器，刺激代工市場需求往上沖刺。
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