微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器深受動作、加速度、傾斜度及振動測量市場的歡迎。MEMS感測器是系統(tǒng)封裝(SiP)解決方案,擁有高分辨率、低功耗及精密尺寸等許多優(yōu)勢。
MEMS采用與矽晶片截然不同的技術(shù)。MEMS的核心元件沒有柵-漏-源三極(Gate-drain-source)而是一個全部由矽制成的微型機械結(jié)構(gòu)。一個典型的MEMS結(jié)構(gòu)包括移動質(zhì)塊、彈簧及阻尼器,工作原理與質(zhì)塊-彈簧模型大致相同。
消費化趨勢成形 MEMS應(yīng)用百花齊放
MEMS感測器可以為手機、MP3/MP4播放器、個人數(shù)位助理(PDA)或游戲機控制器增加直接人機互動介面,實現(xiàn)人的動作與內(nèi)建MEMS感測器裝置之間的互動。
在洗衣機或干衣機等家電設(shè)備中,MEMS加速度計還能用作振動偵測器,當機器內(nèi)的負荷失衡時,洗衣機就會警告用戶,防止機器出現(xiàn)故障或過量的耗損。
單軸和雙軸加速度計被廣泛用于汽車被動式安全系統(tǒng),如正面安全氣囊和側(cè)面安全氣囊。加速度計和陀螺儀還被用于導(dǎo)航系統(tǒng)和主動式安全系統(tǒng),如防鎖死煞車系統(tǒng)(ABS)和車輛動態(tài)控制系統(tǒng)(VDC)(圖1)。
圖1 汽車周邊元件商機迅速發(fā)酵,MEMS應(yīng)用需求水漲船高。
在過去這幾年,MEMS感測器逐漸出現(xiàn)消費化趨勢。MEMS感測器開始滲透到消費性電子市場,被許多新應(yīng)用采用。
消費性電子市場在尋找微型、低成本、低壓及低功耗的產(chǎn)品。輕薄小巧的設(shè)計是手機、MP3和MP4播放器及可攜式PC等電池供電產(chǎn)品的發(fā)展趨勢。而且,多軸感測器已成為消費性電子裝置的必備配置,讓消費者能夠從任何物理位置啟動任何功能。在可攜式產(chǎn)品中,并沒有固定的MEMS感測器應(yīng)用參考框架。
此外,消費性電子產(chǎn)品的生命周期越來越短,因此產(chǎn)品設(shè)計人員要求MEMS能夠快速且無縫地被整合到終端應(yīng)用中。
行動市場驅(qū)動 體感MEMS出頭天
處于MEMS技術(shù)發(fā)展的最前線的意法半導(dǎo)體(ST)開始在單一封裝內(nèi)整合如加速度計、陀螺儀、地磁計等多個感測器,這個解決方案可提升包括動作監(jiān)測在內(nèi)的各種應(yīng)用的功能性和性能表現(xiàn)。整合感測器可實現(xiàn)自主系統(tǒng)和自動化系統(tǒng),監(jiān)測特定條件并直接執(zhí)行相關(guān)功能操作,無需或只需用戶很小程度的介入。
在手機、游戲機、個人導(dǎo)航系統(tǒng)等可攜式行動裝置內(nèi),一個能夠精確測量三個正交軸向角速率的感測器可實現(xiàn)360度角速率偵測,高精密度識別三維(3D)手勢和動作。此外,一個三軸加速度計配合一個陀螺儀,可讓設(shè)計人員研發(fā)慣性測量單元(IMU),追蹤人體、汽車及其他物體的動作類型、速度及方向,并提供完整的相關(guān)訊息(圖2)。
圖2 智慧型手機、游戲機、行動裝置當紅,三軸加速度計和陀螺儀等感測元件前景可期。
意法半導(dǎo)體的加速度計內(nèi)建許多經(jīng)強化的功能,包括點一下和點兩下識別、動作偵測/喚醒、和4D/6D方向偵測。其他重要特性包括一個可編程的先進先出(FIFO)和兩個可編程的中斷訊號輸出接腳,以便向主處理器立即通知點一下/點兩下事件、動作偵測及新一代MEMS裝置需要的條件。
定址服務(wù)崛起 羅盤模組媲美GPS
透過整合羅盤模組以提供先進的定址服務(wù)(LBS)已在手機市場引發(fā)一場應(yīng)用革命。有了羅盤和全球衛(wèi)星定位系統(tǒng)(GPS)功能后,消費者只要把手機指向附近服務(wù)設(shè)施,如酒店或商場,就能夠識別和搜索相關(guān)目標的訊息(圖3)。
圖3 定址服務(wù)后勢看漲,羅盤模組摩拳擦掌,可望攻占GPS應(yīng)用版圖。
結(jié)合動作偵測與磁力感應(yīng)的功能,可以在多方面提高行動用戶的使用體驗。應(yīng)用開發(fā)人員能夠解決在顯示螢?zāi)怀叽缬邢薜氖謾C或PDA上查看關(guān)于地圖的問題,他們把用戶目前位置放在地圖的底端,顯示螢?zāi)黄溆嗖糠謩t顯示前進方向(正上方)。當在沒有GPS訊號的情況下,用戶仍可獲得準確的路徑圖訊息,無論是透過開車或徒步。這個解決方案并可支援航位推算應(yīng)用,在沒有GPS衛(wèi)星訊號或GPS訊號很弱的建筑物內(nèi)或山區(qū)及森林提供個人步行導(dǎo)航功能。
意法半導(dǎo)體在LSM303DLH模組內(nèi)整合三軸數(shù)位加速度計和三軸數(shù)位地磁計。這款數(shù)位羅盤兼具高準確度、小尺寸、低功耗等多項優(yōu)點,能夠滿足市場對于先進導(dǎo)航功能及新興智慧型定位服務(wù)的日益成長的需求。這款高性能、擁有SiP數(shù)位羅盤采用Honeywell的磁阻技術(shù),以加快先進電子羅盤功能在可攜式消費性電子產(chǎn)品中的應(yīng)用,羅盤功能包括方位查找、地圖/顯示方位、定址服務(wù)及個人步行航位推算。該產(chǎn)品的線性加速度測量范圍是±2/±4/±8g,磁場強度測量范圍從±1.3~±8高斯,用戶可以針對這兩個量程自由選擇。
許多技術(shù)和商業(yè)專業(yè)人員認為無線感測網(wǎng)路、家用型機器人、智慧型藥盒及實驗室晶片將推動下一波MEMS產(chǎn)品的市場成長。例如用于個人化醫(yī)藥研發(fā)的實驗室晶片及由五節(jié)點無線壓力感測器網(wǎng)路組成的輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)。
意法半導(dǎo)體的MEMS專業(yè)人員目前正在傾力研發(fā)智慧型感測器。這些智慧型感測器在單一封裝內(nèi)整合MEMS元件和處理器,毋須透過主處理器便可獨立執(zhí)行感測器演算法,從而降低系統(tǒng)級功耗,這對耗電量極大的手持裝置具有重要意義。
(本文作者任職于意法半導(dǎo)體)