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【SEMICON China 新產(chǎn)品與新技術(shù)】高性能化學(xué)處理材料

時(shí)間：2011-03-10 07:55:00
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[導(dǎo)讀]杜邦亞普納米材料（DA Nano）的CoppeReady? Cu3900 & CoppeReady? Cu3988銅研磨液，CoppeReady? Cu6545 barrier研磨液和MicroPlanar? CMP5714M? 鎢研磨液是針對(duì)32nm及更加先進(jìn)的制程研發(fā)的產(chǎn)品，可以根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)

杜邦亞普納米材料（DA Nano）的CoppeReady? Cu3900 & CoppeReady? Cu3988銅研磨液，CoppeReady? Cu6545 barrier研磨液和MicroPlanar? CMP5714M? 鎢研磨液是針對(duì)32nm及更加先進(jìn)的制程研發(fā)的產(chǎn)品，可以根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)配方，提高產(chǎn)品良率，在世界領(lǐng)先的IDM和Foundry客戶中深受好評(píng)。源于DA Nano專利的DCMP?配方，DA Nano的研磨液均可以高比例稀釋，大幅延長(zhǎng)研磨墊等部件的使用時(shí)間，使得客戶的運(yùn)營(yíng)成本得以降低。杜邦半導(dǎo)體材料覆蓋了晶圓制造及封裝工藝的多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。Semi-fabrication.dupont.com?



來源：SEMI

作者：zhaobin

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