【SEMICON China 新產(chǎn)品與新技術(shù)】高性能化學處理材料
杜邦亞普納米材料(DA Nano)的CoppeReady? Cu3900 & CoppeReady? Cu3988銅研磨液,CoppeReady? Cu6545 barrier研磨液和MicroPlanar? CMP5714M? 鎢研磨液是針對32nm及更加先進的制程研發(fā)的產(chǎn)品,可以根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)配方,提高產(chǎn)品良率,在世界領(lǐng)先的IDM和Foundry客戶中深受好評。源于DA Nano專利的DCMP?配方,DA Nano的研磨液均可以高比例稀釋,大幅延長研磨墊等部件的使用時間,使得客戶的運營成本得以降低。杜邦半導體材料覆蓋了晶圓制造及封裝工藝的多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)。Semi-fabrication.dupont.com?