【SEMICON China 新技術(shù)與新產(chǎn)品】磁懸浮渦輪分子泵

Edwards最新推出STP-iXA2206和STP-iXA3306真空泵。iXA2206/iXA3306具有優(yōu)于早期iXA系列的同類最佳性能，專為太陽能、玻璃鍍膜、半導(dǎo)體和LCD刻蝕應(yīng)用而研發(fā)。新型STP-iXA2206/iXA3306完全集成式真空泵易于安裝，占地面積很小，集成的機(jī)載控制器無需安裝控制單元支架以及連接控制單元和真空泵的電纜，節(jié)省了安裝時(shí)間、空間和費(fèi)用。緊湊的設(shè)計(jì)和兼容早期型號(hào)的尺寸簡(jiǎn)化了現(xiàn)有泵的更新?lián)Q代。STP-iXA3306具有業(yè)界領(lǐng)先的抽氣性能，最大抽氣速率為3200升/秒，在高氣體流量下排氣量更優(yōu)。STP-iXA2206的抽氣速率和早期的STP-A2203相同，但是提高了最大排氣量。產(chǎn)品具有最新一代的小功率電源。該泵還包括一套選配的溫度管理系統(tǒng)，用于減少工藝副產(chǎn)品的形成。www.edwardsvacuum.com