GlobalFoundries可出品完全無缺陷晶圓

BSN網(wǎng)站記者近日造訪GlobalFoundries位于德國德累斯頓的Fab 1晶圓廠（原AMD Fab 36），對(duì)其無塵室進(jìn)行了一次參觀。讓他們大吃一驚的是，GlobalFoundries居然能夠造出完全無缺陷的芯片晶圓。

早在未拆分前，AMD的晶圓良品率在業(yè)內(nèi)就頗具口碑，甚至經(jīng)常有消息稱其良品率領(lǐng)先于Intel。現(xiàn)在，GlobalFoundries的德累斯頓工廠結(jié)合了AMD的傳統(tǒng)和“德國工藝”，晶圓良品率依然保持在非常高的水平上。比如記者在工廠中看到的32nm SOI工藝以及28nm體硅測(cè)試晶圓，良品率都相當(dāng)高。有的28nm體硅測(cè)試晶圓只有幾十處缺陷，良品率肯定遠(yuǎn)高于近期備受詬病的臺(tái)積電40nm生產(chǎn)線。

更令人贊嘆的是，記者在GlobalFoundries工廠內(nèi)還看到了多塊良品率高達(dá)100%的晶圓，以及更多缺陷數(shù)僅為個(gè)位數(shù)的高良品率晶圓，并且這些晶圓都是用于制造業(yè)已商品化的產(chǎn)品，而非測(cè)試用途。在一塊300mm晶圓上找不到一處缺陷，數(shù)千億個(gè)晶體管電路都可正常運(yùn)行，這絕對(duì)是晶圓制造的終極目標(biāo)。