在上海擁有生產(chǎn)基地的蝕刻裝置廠商AMEC增資4600萬美元

蝕刻裝置廠商中微半導(dǎo)體設(shè)備（AMEC）宣布增資4600萬美元（該公司的英文發(fā)布資料）。該公司在上海擁有開發(fā)生產(chǎn)基地，在新加坡擁有銷售基地。自2004年創(chuàng)業(yè)以來，從風(fēng)險(xiǎn)投資公司的融資總額超過了1億5000萬美元。

此次籌集的資金將用于AMEC的蝕刻裝置“Primo D-RIE”的開發(fā)與制造。預(yù)定2010年內(nèi)開始供應(yīng)新型Primo D-RIE。

據(jù)稱，已投產(chǎn)的Primo D-RIE主要面向65nm及45nm工藝，具有可支持32nm以后工藝的擴(kuò)展性（參閱本站報(bào)道）。該公司表示，有5家亞洲半導(dǎo)體廠商購(gòu)買了Primo D-RIE，主要用于65nm及45nm工藝的量產(chǎn)。購(gòu)買企業(yè)為代工廠商及內(nèi)存廠商等，并已收到追加購(gòu)買訂單。