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[導(dǎo)讀]半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在面臨一項挑戰(zhàn),即每兩年微縮晶片特征尺寸的周期已然結(jié)束,我們正在跨入一個情勢高度不明的階段。業(yè)界目前面臨的幾項關(guān)鍵挑戰(zhàn)都顯示,晶片微縮的路程愈來愈艱困了。 1.晶圓代工廠量產(chǎn)32/28nm晶圓的周期

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在面臨一項挑戰(zhàn),即每兩年微縮晶片特征尺寸的周期已然結(jié)束,我們正在跨入一個情勢高度不明的階段。業(yè)界目前面臨的幾項關(guān)鍵挑戰(zhàn)都顯示,晶片微縮的路程愈來愈艱困了。

1.晶圓代工廠量產(chǎn)32/28nm晶圓的周期延長到了三年左右。2009年,45/40nm晶圓占代工廠營收比重僅10%;而2012年第四季,32/28nm占代工廠營收比重也是10%。

2.在32nm量產(chǎn)2年多以后,22nm的FinFET才宣布將邁入量產(chǎn)。FinFET是一項極具挑戰(zhàn)性的技術(shù)。英特爾在這方面的研究相當(dāng)卓越,但仍需克服許多挑戰(zhàn),才能支援新一代SoC所需的多閾值電壓和多VDD位準(zhǔn)。

3.與28nm制程相比,下一代20nm平面CMOS將面臨更多的容差控制挑戰(zhàn)。這可能帶來重大影響──20nm的每閘極成本將高于28nm。

圖1:每閘極成本。

偏離<strong><strong>摩爾定律</strong></strong>晶片微縮腳步漸緩

由于每閘極成本很可能會升高,因此,在邁向下一代制程時要做的工作實際上還有很多,這會再延長設(shè)計完成的時間。另外,14nm世代的每閘極成本也可能比28nm來得高。

4.20nm以后的下一步是什么?半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正致力于開發(fā)14nmFinFET。他們確實能開發(fā)出來,但在制造上會面臨更多挑戰(zhàn),包括階梯覆蓋(stepcoverage)、FIN尺寸的控制、在多個層上使用雙重圖形(doublepatterning),甚至需要使用四重圖形等。

此外,EUV技術(shù)顯然不會在2014~2015年就緒,所以業(yè)界仍得繼續(xù)使用193nm工具。而最近檢視28nm生產(chǎn)線的問題也顯示,許多技術(shù)正在逼近極限。

另一個關(guān)鍵問題是FinFET能否實現(xiàn)晶片上的多VDD位準(zhǔn)和多閾值電壓。

業(yè)界要做的工作很多,必須開發(fā)新的元件庫、IP必須過渡到FinFET架構(gòu)、必須測試晶片的運(yùn)作,還要確保能夠量產(chǎn)。在14nm世代,復(fù)雜的晶片將花費2億~5億美元的設(shè)計成本,即使是返工也必須花費2,000萬~5,000萬美元。更不用提設(shè)計失敗的成本了。

更重要的是,直到2016或2017年,看來都不會有英特爾以外的公司量產(chǎn)14nmFinFET。要達(dá)到量產(chǎn)階段,就必須確保能達(dá)到比前幾代技術(shù)更低的功耗,以及更更的每閘極成本。

而在14nm以后,還會面臨全新的挑戰(zhàn)(EUV、450mm、碳奈米管等)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必須了解艱巨的挑戰(zhàn)會不斷迎面而來,而且朝更小特征尺寸轉(zhuǎn)移的時間也會不斷延長。

這代表整個供應(yīng)鏈,包括模具供應(yīng)商、光罩廠商、代工廠、IC設(shè)計公司和電子產(chǎn)品制造商都必須進(jìn)行調(diào)整。

從硬體角度來看,蘋果(Apple)這次推出新一代iPad時所做的最主要調(diào)整,只有更高解析度的顯示器罷了。

對晶圓供應(yīng)商來說,若他們不做出相應(yīng)調(diào)整,那么每月10,000片晶圓,高達(dá)10億美元的成本,是非常驚人的。

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