遼沈地區(qū)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)強勢崛起

半導(dǎo)體裝備制造產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟的戰(zhàn)略性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，10余年間，在國家增強自主創(chuàng)新能力和振興東北老工業(yè)基地等戰(zhàn)略方針的引導(dǎo)下，遼寧半導(dǎo)體裝備制造產(chǎn)業(yè)以沈陽為中心實現(xiàn)了從無到有、從小到大、由弱到強的歷史性轉(zhuǎn)變：建成了國內(nèi)首個IC裝備控制軟件平臺和IC裝備專業(yè)孵化器，攻克了多個制約我國半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)工藝和關(guān)鍵技術(shù)，創(chuàng)造了300余項科研成果，成功研制出6-12英寸等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、勻膠顯影、單片濕法刻蝕和凸點封裝噴涂膠等系列整機設(shè)備以及300mm IC生產(chǎn)線自動物料搬運系統(tǒng)、直接驅(qū)動真空（機械）手、IC生產(chǎn)線用羅茨干泵等一批關(guān)鍵零部件產(chǎn)品，多個產(chǎn)品填補國內(nèi)空白并成功實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，培育和引進了一批優(yōu)勢骨干企業(yè)。沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)園2009年被科技部批準為國家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地，成為我國三大半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)基地之一。

伴隨著遼寧地區(qū)裝備制造產(chǎn)業(yè)的日趨成熟，遼寧面臨著全球經(jīng)濟一體化形勢下的更激烈更殘酷的市場競爭。要想進一步促進遼寧裝備制造產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，就必須把企業(yè)緊密的團結(jié)起來，打造產(chǎn)業(yè)集群，形成上下游產(chǎn)業(yè)鏈，通過資源互補和合作開發(fā)實現(xiàn)聯(lián)合創(chuàng)新，因此，建立產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟無疑成為順應(yīng)時代發(fā)展的必然選擇。自去年開展國家技術(shù)創(chuàng)新工程試點工作以來，根據(jù)科技部批復(fù)的《國家技術(shù)創(chuàng)新工程遼寧省試點工作方案》任務(wù)要求，遼寧省積極推進省級產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟試點構(gòu)建工作。目前，遼寧省級聯(lián)盟試點總數(shù)已達16家，其中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的成立，對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到了非常重要的推動作用。

2010年12月，在遼寧省委、省政府和遼寧省科技廳的強力推動下，遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟正式成立。中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司、沈陽新松機器人自動化股份有限公司、沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司、沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司、沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司、中國科學院沈陽分院、東北大學、沈陽工業(yè)大學等19家遼沈地區(qū)半導(dǎo)體裝備企業(yè)、大學和研究所共同簽署了聯(lián)盟協(xié)議。

一年來，在遼寧省委、省政府的正確領(lǐng)導(dǎo)下，遼寧省科技廳等部門的大力支持下，遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟將以沈陽為中心的遼寧眾多半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)緊密團結(jié)在一起，聯(lián)手進行關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，合力承擔了10項國家科技重大專項極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝項目，共同開拓國內(nèi)外市場，形成了上下游緊密連接的產(chǎn)業(yè)鏈條。全國首臺12英寸PECVD設(shè)備、TRACK設(shè)備，首塊國產(chǎn)光刻設(shè)備殷鋼主基板等一批整機設(shè)備和關(guān)鍵零部件相繼在沈陽出廠。

作為新中國裝備制造業(yè)發(fā)展的搖籃，遼寧在發(fā)展裝備制造產(chǎn)業(yè)上擁有良好的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和科技優(yōu)勢，沈陽擁有高等院校、科研機構(gòu)近百所，擁有與半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)直接相關(guān)的國家級工程（技術(shù)）研究中心、工程實驗室5個，省級工程（技術(shù)）研究中心、重點實驗室7個，在電子、機械等領(lǐng)域更具有傳統(tǒng)優(yōu)勢，為沈陽的半導(dǎo)體裝備制造產(chǎn)業(yè)提供了充沛的人才補給。

2004年，沈陽建立了全國第一個IC裝備產(chǎn)業(yè)制造基地。2005年，沈陽建設(shè)全國惟一的IC裝備專業(yè)孵化器，成立了國內(nèi)首個IC專業(yè)精密零部件加工中心，設(shè)立了零部件精密加工、檢測及凈化等公共技術(shù)服務(wù)平臺，為創(chuàng)新研發(fā)和產(chǎn)品制造提供公共技術(shù)服務(wù)和零部件配套服務(wù)，也為發(fā)展中小企業(yè)、培育后備力量打造了良好的發(fā)展環(huán)境。在全國范圍內(nèi)，沈陽已經(jīng)與上海、北京形成各具特色、相互支撐、相互配套的三足鼎立之勢。

沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司擁有技術(shù)水平一流的研發(fā)隊伍，其自主研發(fā)的 NCS-3000 系列全分布式工業(yè)控制系統(tǒng)曾獲得中國科學院科技進步獎一等獎和國家科技進步獎二等獎。

沈陽中科儀公司基于自身在真空技術(shù)、精密技術(shù)加工等方面的雄厚技術(shù)儲備和人才優(yōu)勢自主研發(fā)生產(chǎn)的羅茨干泵產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進水平；素有中國機器人之父之稱的沈陽新松一直引領(lǐng)機器人產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，建有中國最大的機器人產(chǎn)業(yè)基地。

在聯(lián)盟的帶動下，一批國際先進、國內(nèi)領(lǐng)先并能打破國外壟斷的關(guān)鍵設(shè)備在沈陽實現(xiàn)了 一站式生產(chǎn)。創(chuàng)新產(chǎn)品在市場上的競爭力依賴于整個產(chǎn)業(yè)鏈的競爭力，我們既要促進聯(lián)盟成員縮短研發(fā)周期，同時通過聯(lián)合采購和共享基礎(chǔ)設(shè)施降低成本，集中力量加快產(chǎn)品進入市場，進而促進整個產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事會秘書長鄭廣文表示。

沈陽芯源公司生產(chǎn)的8英寸0.25微米勻膠顯影設(shè)備，國產(chǎn)化率達到70％以上，成本降低超過20％，填補了國內(nèi)空白，整機技術(shù)水平達到國際先進水平。使我國勻膠顯影技術(shù)提升了3個產(chǎn)品代，與國際先進技術(shù)差距縮短了15年。

短短一年的時間，遼沈地區(qū)的19家企業(yè)、大學和科研院所共同見證了遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的成長及其發(fā)揮的重要作用，產(chǎn)學研用合作不斷升級，企業(yè)創(chuàng)新能力不斷提升，承擔的國家科技重大專項極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝進展順利，產(chǎn)業(yè)鏈條更加完善，產(chǎn)業(yè)配套更加緊湊，市場空間更加廣闊，遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出快速崛起之勢。

據(jù)悉，沈陽市正在研究制定沈陽半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園發(fā)展規(guī)劃，沈陽市渾南新區(qū)副區(qū)長裴希巖表示，沈陽半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園是集生產(chǎn)制造、研究開發(fā)、人才培養(yǎng)、貿(mào)易和技術(shù)服務(wù)等為一體的，國際先進、國內(nèi)一流的產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，是代表國內(nèi)外半導(dǎo)體技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化示范區(qū)，是整合各種資源優(yōu)勢、參與國際分工、承接先進生產(chǎn)制造技術(shù)的試驗區(qū)。

未來，遼寧半導(dǎo)體裝備制造產(chǎn)業(yè)在遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的推動下，將進一步提升東北老工業(yè)基地的裝備制造水平和我國半導(dǎo)體裝備制造產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新能力，促進我國先進裝備制造業(yè)的快速發(fā)展，并帶動關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)的繁榮興旺，為我國邁入半導(dǎo)體裝備強國做出更大貢獻。