Aixtron為南通同方安裝多臺(tái)G5反應(yīng)器
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Aixtron于12月15日宣布,將很快完成為中國(guó)同方南通半導(dǎo)體LED產(chǎn)業(yè)基地安裝其于1Q11所訂購(gòu)的多臺(tái)MOCVD設(shè)備。南通同方所訂購(gòu)的是Aixtron生產(chǎn)的56x2英寸及14x4英寸規(guī)格的AIXG5 HT反應(yīng)器,將用于生產(chǎn)高亮度LED。系統(tǒng)于2Q11開(kāi)始交付,并將于4Q11完成。Aixtron當(dāng)?shù)丶夹g(shù)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)安裝和調(diào)試。
2011年8月8日,清華同方南通半導(dǎo)體LED產(chǎn)業(yè)基地一期建成并正式投產(chǎn)。同方南通產(chǎn)業(yè)基地的正式投產(chǎn),。同方股份對(duì)清華同方南通LED半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地自主投資30多億元人民幣,其中MOCVD機(jī)臺(tái)(LED外延片生產(chǎn)機(jī)臺(tái))達(dá)到48臺(tái)(套),這個(gè)領(lǐng)域的兩大廠Aixtron、Veeco的最新機(jī)臺(tái)都有,量產(chǎn)能力方面,預(yù)估可年產(chǎn)240萬(wàn)片高亮度藍(lán)光LED外延片及衍生的LED芯片生產(chǎn)能力,形成20多億元的年銷售收入規(guī)模。