IC表面可進(jìn)行傳感？ChipSensors展示IC“電介質(zhì)傳感器”技術(shù)
[導(dǎo)讀]無(wú)晶圓芯片公司ChipSensors聲稱已研制出一種新技術(shù)允許IC的表面進(jìn)行溫度，濕度，某些氣體和微生物的傳感。 該專利技術(shù)利用了在標(biāo)準(zhǔn)的亞微米CMOS制程中采用了低K層介質(zhì)材料作為金屬連線間的絕緣體。這種材料是多孔的，
無(wú)晶圓芯片公司ChipSensors聲稱已研制出一種新技術(shù)允許IC的表面進(jìn)行溫度，濕度，某些氣體和微生物的傳感。
該專利技術(shù)利用了在標(biāo)準(zhǔn)的亞微米CMOS制程中采用了低K層介質(zhì)材料作為金屬連線間的絕緣體。這種材料是多孔的，通過(guò)被感應(yīng)的介質(zhì)的選擇性滲透和阻塞進(jìn)入，材料的介電常數(shù)發(fā)生變化，形成傳感器。通常IC的表面是被環(huán)境條件所影響，相似的，低K層介質(zhì)材料的氣孔是進(jìn)行表面處理的。然而，ChipSensors指出通過(guò)讓環(huán)境影響特定的區(qū)域?qū)е码娞匦钥梢酝嗥想娐繁粶?zhǔn)確檢測(cè)到。
該技術(shù)同時(shí)還可以讓單芯片的無(wú)線傳感器通過(guò)無(wú)線電路在相同的芯片上傳輸測(cè)量信號(hào)。目前，該公司的基于芯片的傳感器和無(wú)芯片的無(wú)線連接到膝上電腦進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量的演示。
潮氣的侵入通常被認(rèn)為是決定IC長(zhǎng)期穩(wěn)定性的因素。ChipSensors在用之前沒(méi)有考慮是否需要防止環(huán)境影響而進(jìn)行封裝，或者是它的傳感器壽命的長(zhǎng)度。
該公司演示了在130納米CMOS制程中的IC制造技術(shù)，并表示該技術(shù)可以作為一種在管理建立和環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)中替代電機(jī)恒溫器和濕度器的一種全電子化器件。ChipSensors現(xiàn)今也開(kāi)發(fā)出這種傳感器超低能耗無(wú)線版本——可以整合所有的信號(hào)情況，微控制器，存儲(chǔ)器等等作為傳感器在同一芯片上。
ChipSensors在2006年成立，專于無(wú)線傳感器產(chǎn)品，第一個(gè)傳感器原型開(kāi)發(fā)在0.18微米和0.13微米上。
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