西班牙公司計劃開發(fā)CMOS工藝單片式MEMS慣性傳感器

一家位于西班牙巴賽羅納的初創(chuàng)公司Baolab Microsystems SL宣布，正計劃采用該公司的一種新技術(shù)，來開發(fā)可重配置的慣性傳感器單元(IMU)。Baloab Microsystems SL是首創(chuàng)在CMOS晶圓金屬互連層中開發(fā)出微機電系統(tǒng)(MEMS)元件的公司。

Baolab已經(jīng)開發(fā)出基于該公司特有技術(shù)的3D羅盤。這家公司同時表示，預(yù)計在對其技術(shù)進行修改后，還能進一步維入加速度計和陀螺儀，進而開發(fā)出全新的IMU。然而，Baolab并未說明何時才能采用其后段CMOS工藝正式生產(chǎn)多軸加速度計或陀螺儀。

結(jié)合三軸加速度計、陀螺儀和磁力計，可提供絕對位置和方向數(shù)據(jù)。這類產(chǎn)品通常結(jié)合衛(wèi)星數(shù)據(jù)，在移動設(shè)備應(yīng)用中提供位置感知功能。

“我們已經(jīng)開發(fā)出能夠修改我們所開發(fā)的3D NanoCompass產(chǎn)品架構(gòu)的方式，以便用于開發(fā)陀螺儀、加速度計以及磁力計，Baolab CEO Dave Doyle說。“由于我們已經(jīng)能在單一芯片中同時整合各種不同的傳感器和電子元件，同時提供控制功能與智能特性，因此，我們將比創(chuàng)造出一種業(yè)界渴望的產(chǎn)品──多傳感器的IMU，這種新元件將具備更靈活的特性，能夠依照各種應(yīng)用需求來動態(tài)配置。”

一般來說，MEMS、模擬信號調(diào)節(jié)器，以及數(shù)字信號處理會需要三種不同的工藝。這些元件通常采用多芯片封裝，以便讓它們成為具備數(shù)字輸出的MEMS元件。而藉由在CMOS芯片的金屬層中整合MEMS架構(gòu)，Baolab聲稱將能開發(fā)出單片式的多單元MEMS元件。

“我們的目標(biāo)是開發(fā)出超低成本，具備智能特性的多傳感器NanoIMU 產(chǎn)品，未來我們將推出一系列的納米傳感器，”Doyle說。