國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)首次進(jìn)入300mm晶圓生產(chǎn)線

由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入中芯國(guó)際(北京)集成電路制造有限公司，開始接受國(guó)際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測(cè)試與器件工藝檢驗(yàn)，為這一國(guó)產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。這是國(guó)產(chǎn)高端離子注入機(jī)首次進(jìn)入300mm主流生產(chǎn)線，表明國(guó)內(nèi)的離子注入機(jī)研制已經(jīng)逐步達(dá)到世界主流技術(shù)水平。

作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，北京中科信公司擁有頗具前瞻性的領(lǐng)導(dǎo)班子及實(shí)力雄厚、經(jīng)驗(yàn)豐富的人才隊(duì)伍，以緊跟時(shí)代發(fā)展步伐的創(chuàng)新研發(fā)模式和堅(jiān)實(shí)超前的技術(shù)基礎(chǔ)，他們勇敢地挑起了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝——65nm大角度離子注入機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的重?fù)?dān)。

北京中科信公司研制的65nm大角度離子注入機(jī)以滿足大規(guī)模生產(chǎn)線65nm制程工藝需求為目標(biāo)，以提升產(chǎn)品工藝性能、整機(jī)高可靠性及降低成本消耗為設(shè)計(jì)理念。在不到兩年的時(shí)間里，公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)成功突破了多項(xiàng)關(guān)鍵工藝，完成多項(xiàng)核心研究，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的工程化制造、關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化，完善了系統(tǒng)設(shè)計(jì)、系統(tǒng)加工、系統(tǒng)集成流程，保證了設(shè)備的高可靠性及工藝水平。長(zhǎng)時(shí)間的系統(tǒng)的性能測(cè)試結(jié)果表明，整機(jī)生產(chǎn)率、控制精度、軟件可靠性、整機(jī)自動(dòng)性能、工藝一致性等指標(biāo)都有了顯著提高，整機(jī)性能完全達(dá)到甚至部分已經(jīng)超過(guò)了項(xiàng)目合同要求，同時(shí)適應(yīng)國(guó)際300mm工藝生產(chǎn)線標(biāo)準(zhǔn)要求。該設(shè)備具備先進(jìn)工藝控制及故障診斷功能，出廠前已通過(guò)用戶基本技術(shù)指標(biāo)評(píng)估與硬件改進(jìn)，其主要工藝性能及可靠性、穩(wěn)定性已取得令人滿意的效果。