ASML TWINSCAN系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)新的里程碑

ASML近日宣布，兩位使用TWINSCAN 光刻機(jī)的芯片制造商實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)新紀(jì)錄，即在24小時(shí)內(nèi)實(shí)現(xiàn)了超過(guò)4000片晶圓的處理。這個(gè)里程碑記錄是在XT:870和XT:400上實(shí)現(xiàn)的，兩家使用者為亞洲的不同客戶(hù)。設(shè)備幫助他們提高了300mm光刻生產(chǎn)能力。

ASML和客戶(hù)一直致力于共同提高ASML光刻機(jī)的生產(chǎn)能力。ASML努力改善光刻機(jī)的硬件和軟件，而客戶(hù)則專(zhuān)注于改進(jìn)工藝菜單和制造工藝。

衡量共同努力的一項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)就是一天之內(nèi)處理的晶圓數(shù)量。另一項(xiàng)衡量指標(biāo)是設(shè)備能夠在365天內(nèi)實(shí)現(xiàn)100萬(wàn)片晶圓處理。第一臺(tái)實(shí)現(xiàn)一年內(nèi)處理超過(guò)100萬(wàn)晶圓的ASML TWINSCAN系統(tǒng)的是TWINSCAN XT:400E iLine，時(shí)間是在2007年10月?，F(xiàn)在已有超過(guò)200臺(tái)設(shè)備達(dá)到了這個(gè)指標(biāo)，包括了iLine、KrF和ArF，以及超過(guò)25臺(tái)浸入式光刻機(jī)。另外，最快實(shí)現(xiàn)100萬(wàn)晶圓處理的時(shí)間是37周。

“光刻機(jī)這樣復(fù)雜的設(shè)備能實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的里程碑，這是我們的員工和客戶(hù)共同努力合作的結(jié)果。”ASML CMO和執(zhí)行副總裁Frits van Hout說(shuō)，“為客戶(hù)提供高生產(chǎn)效率一直是ASML的目標(biāo)。我們將一如既往的提升我們的價(jià)值。”