日本MOCVD設(shè)備廠大陽(yáng)日酸社長(zhǎng)松本功:：GaN-on-Si必定是LED未來(lái)發(fā)展的技術(shù)之一

近期LED設(shè)備市場(chǎng)中的MOCVD競(jìng)爭(zhēng)激烈，除了業(yè)界兩大龍頭廠商德商Aixtron、美商Veeco之外，其實(shí)還有其他設(shè)備廠商的舞臺(tái)。大陽(yáng)日酸株式會(huì)社(TAIYO NIPPON SANSO)成立于1910年，是日本最大的工業(yè)氣體和空分設(shè)備制造公司，位居全球工業(yè)氣體行業(yè)綜合排名前五位。以有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備來(lái)看，全球前3大MOCVD制造商分別為德商Aixtron、美商Veeco及日商大陽(yáng)日酸，此3家公司2011年的全球市占率高達(dá)98.4%，其中，大陽(yáng)日酸的全球市占率雖遠(yuǎn)低于Aixtron及Veeco，僅5.9%，但在日本國(guó)內(nèi)市占率卻高達(dá)70%~80%，為日本最大的MOCVD制造商。

記者除了邀請(qǐng)到大陽(yáng)日酸董事長(zhǎng)Koh Matsumoto博士(代表取締役社長(zhǎng)松本功)分享LED設(shè)備技術(shù)提升與LED產(chǎn)業(yè)現(xiàn)況與趨勢(shì)外，也做了專(zhuān)訪，請(qǐng)他提供寶貴的業(yè)界經(jīng)驗(yàn)。松本功博士專(zhuān)精于ETL的光敏程序的研究，致力于設(shè)計(jì)和生產(chǎn)MOVPE工具，并從事CS外延成長(zhǎng)的研究以及反應(yīng)器的開(kāi)發(fā)等。

大陽(yáng)日酸株式會(huì)社代表取締役社長(zhǎng)松本功博士(Koh Matsumoto)于臺(tái)北LEDforum 2011演講“使用創(chuàng)新的MOCVD工具，氮化鎵在藍(lán)寶石和矽基板來(lái)提高LED的產(chǎn)能 ”

　　LED生產(chǎn)技術(shù)提升: 藍(lán)寶石基板尺寸演進(jìn)

松本功社長(zhǎng)指出，目前臺(tái)系廠商與日系廠商多使用4吋藍(lán)寶石基板給LED使用，而中國(guó)大陸廠商則是使用2吋的藍(lán)寶石基板為主。隨著設(shè)備效率與LED人才技術(shù)日漸提升下，預(yù)估在明年4吋的藍(lán)寶石基板也將廣泛得受到LED廠商所重視。雖然6吋的藍(lán)寶石基板仍受限于目前的技術(shù)，以至于LED芯片生產(chǎn)的良率與破片率仍是目前仍須突破的瓶頸。

大陽(yáng)日酸將于2012年發(fā)表最新的MOVPE機(jī)臺(tái)UR26K，以6寸基板來(lái)說(shuō)，一次運(yùn)作生產(chǎn)下從原先的6片產(chǎn)量，增加至10片，不僅使得每片晶圓片以倍數(shù)增加的芯片數(shù)量，成本也因此大幅下降。透過(guò)氮化鎵結(jié)構(gòu)的組成，可成功的減少多重量子井的堆疊數(shù)層，單次操作時(shí)間也大幅降低，單天產(chǎn)出也因此大幅提升約一倍。

隨著設(shè)備技術(shù)不斷的提升下，松本功博士認(rèn)為，每四年MOVPE的產(chǎn)能就實(shí)現(xiàn)一次倍數(shù)成長(zhǎng)。此外，他認(rèn)為GaN-on-Si必定是未來(lái)發(fā)展的技術(shù)之一，但由于目前技術(shù)上的困難度在于，由于矽基板和GaN的熱膨脹系數(shù)不同，在制程中會(huì)因?yàn)閮煞N材質(zhì)間的晶格錯(cuò)位而產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而形成曲度(bow)和裂痕(crack)，過(guò)去一直未能在業(yè)界廣泛應(yīng)用，但不否認(rèn)的是，由于傳導(dǎo)性佳，產(chǎn)生的熱能少，有助于簡(jiǎn)化產(chǎn)品上的散熱設(shè)計(jì)。

2012年日本LED市場(chǎng)發(fā)展

談到日本市場(chǎng)的發(fā)展，他指出，2011年LED市場(chǎng)受到終端需求低迷與日本地震所帶來(lái)限電政策的雙重影響下，LED在日本照明市場(chǎng)占有率已超過(guò)50%。目前日本燈泡價(jià)格有受到品牌競(jìng)爭(zhēng)壓力下，價(jià)格約在日?qǐng)A2500~3000左右，而出光角度廣的LED燈泡仍維持在日?qǐng)A4000上下，市場(chǎng)接受度比以前要提升。

除了價(jià)格的考量之外，因?yàn)槿毡救似门坠馍?，光色?duì)消費(fèi)者來(lái)說(shuō)仍是相當(dāng)重要的一項(xiàng)考慮因素，故演色性的提升、光品質(zhì)的均勻也是被重視的點(diǎn)。然而，LED背光市場(chǎng)的發(fā)展卻令人擔(dān)憂，原先在一片看好下，出現(xiàn)整體市場(chǎng)的需求不如預(yù)期，也導(dǎo)致面板廠商紛紛降低出貨量，與甚或是關(guān)閉出售其業(yè)務(wù)。因此，多數(shù)廠商也冀望Eco-Point制度能在冬季重新啟動(dòng)，除了因應(yīng)冬季用電外，也期望透過(guò)補(bǔ)助，維持LED終端應(yīng)用市場(chǎng)需求。

編輯：妮子